Автор: admin

ДИПЛОМНая работа

современное состояние исследований в области функциональных конденсационных покрытий высокой проводимости

ВСТУПЛЕНИЕ

Получение и применение функциональных пленок и покрытий в последние 30-40 лет характеризуется стремительным ростом и во многих отраслях промышленности занимает ключевые позиции. Особенно это относится к электронной технике, где тонкие пленки являются элементами различных устройств крупносерийного производства.

Особое место занимают функциональные пленки и покрытия из материалов высокой проводимости – токоведущие дорожки интегральных схем, слаботочные узлы коммутации исполнительных элементов электронных и электротехнических устройств, активные и пассивные элементы узлов компьютеров, электрические контакты и пр. Наряду с традиционными материалами (золото, серебро, платина и сплавы на их основе), в последние годы широко внедряются материалы-заменители (медь и её сплавы, алюминиевые сплавы и пр.). Использование материалов-заменителей позволяет решить такую важную народнохозяйственную задачу, как замена драгметаллов; одновременно существенно снижается себестоимость продукции.

Нами обобщен научный и производственный опыт отечественных и зарубежных ученых в области научных исследований и технологических разработок различных функциональных пленок и покрытий из материалов высокой проводимости [90, 91, 92]. С точки зрения технологии получения, основное внимание уделено методу термовакуумного напыления [60, 124, 125, 135], который является наиболее перспективным и широко используется в электронной технике.

1.1. Основные типы токопроводящих покрытий и их свойства

Токопроводящие плёнки — наиболее распространённый класс функциональных покрытий в различных устройствах электронной техники. К ним относятся пассивные плёночные элементы, токопроводящие каналы микросхем, элементы коммутирующих устройств [28, 99, 181], контактные площадки переменных непроволочных резисторов.

Общие требования, предъявляемые к материалам токопроводящих и к контактным площадкам, следующие:

— высокие электро- и теплопроводность;

— стабильность электрических параметров при воздействии агрессивных сред (коррозионная стойкость);

— износоустойчивость покрытия (характерно для слаботочных скользящих контактов);

— способность к сварке и спайке (особенно для элементов коммутации).

Наиболее широкое распространение получили благородные металлы — золото, серебро, платина и их сплавы. Комплекс исследований, включающий механические, электрические и коррозионные испытания, показал, что покрытия из золота и его сплавов обладают более низкой твёрдостью, электропроводностью и коррозионной стойкостью по сравнению с серебряными покрытиями [158]. Серебро широко применяется для изготовления различного вида контактов. В работе [175] изучено влияние окислов Mg, Al, Mn, Sn, Zr, La, Cd и Mo (окислы образовывались в результате внутреннего окисления соответствующих сплавов на эрозионный износ серебряных контактов. Установлено, что наибольшие потери были в случае наличия окислов Al и Mo, а наименьшие — наблюдались для чистого серебра и сплавов серебра, содержащих Cd и Zr. Сплавы Ag-CdО успешно применяются для покрытий электрических контактов, работающих при t°Ј 40° и относительной влажности 95 %, а также в сухой атмосфере при t Ј120°С.

Кроме серебра и золота для получения контактов используют молибден, платину, палладий и сплавы на их основе, обеспечивающие хорошую коррозионную стойкость и стабильность контактной проводимости [165].

В последнее время наблюдается тенденция замены благородных металлов более экономичными металлами и сплавами с сохранением функциональных свойств покрытий [46, 139, 145, 186]. По электрическим характеристикам, наиболее близким к серебру металлом является медь. Медь обладает высокими значениями тепло- и электропроводности, дешева. В связи с этим медь нашла широкое применение в различного вида контактах, работающих при значительных механических усилиях с притирающим действием или при напряжениях, способных пробить поверхностные окисные плёнки. Преимущества меди заключаются в том, что вследствие высокой теплоёмкости, медные контакты меньше подвержены перегреву током, чем серебряные. Однако, из-за лёгкой окисляемости и малой стойкости к истиранию применение чистой меди ограничено.

Предпочтительнее для создания контактных покрытий применять сплавы на основе меди. Выбор легирующих элементов определяется следующими соображениями: улучшением адгезии покрытий к подложкам, повышением свариваемости плёнок с различными элементами схемы, повышением износоустойчивости, обеспечением коррозионной стойкости в различных средах [17, 23, 24, 42, 60, 135]. Исследования коррозионной стойкости, проведённые для 25 сплавов меди показали, что в промышленной атмосфере добавки Al, Ni и Sn к меди повышают, а Mn — снижают коррозионную стойкость, в тоже время в морской воде присутствие Ni и Mn повышают атмосферостойкость сплавов на основе меди [171]. Сплавы, используемые для изготовления контактных участков резисторов и токопроводящих элементов микросхем, обладающие необходимыми эксплуатационными свойствами предложены в [5, 6].

Существует определенная связь между электрофизическими свойствами тонкопленочных конденсированных структур и условиями их получения [91]. Основными технологическими параметрами, определяющими электрофизические свойства плёнок, полученных при термическом испарении металлов в вакууме, являются скорость испарения, степень вакуума, температура подложки, толщина плёнки и её состав, а также режимы предварительной и последующей обработки [4, 14, 60, 118, 124, 125, 151].

Температура подложки определяет механизм конденсации плёнки, степень её фазовой и структурной неравномерности. С повышением температуры подложки усиливаются диффузионные процессы, способствующие упорядочению кристаллической решётки и увеличению плотности конденсируемой плёнки. Удельное сопротивление плёнки зависит от температуры подложки [13, 14]. Величина сопротивления плёнки уменьшается, температурный коэффициент сопротивления сдвигается в сторону положительных значений, стабильность электрических характеристик улучшается. Сравнение зависимостей r и ТКС от температуры подложки для плёнок никеля, алюминия и золота толщиной 0,5мкм [11] показывают более существенную чувствительность этих параметров для плёнок никеля и алюминия в сравнении с пленками золота.

Электрическое сопротивление определяется не только температурой подложки, но также скоростью осаждения, степенью вакуума, а также продолжительностью испарения [120]. Плёнки равной толщины, но напыленные в течение более короткого промежутка времени или при меньшем давлении остаточных газов, имеют меньшее удельное сопротивление, чем плёнки, напыленные при более длительном испарении и большем давлении остаточных газов. На основании проведённых исследований предложен способ получения слоёв с заданными электрическими характеристиками.

Свойства тонкопленочных конденсированных структур в значительной степени определяются их толщиной. Очень тонкие плёнки (до 20 нм) обладают весьма высоким удельным сопротивлением и отрицательным ТКС. Более толстые плёнки (до нескольких мкм) имеют более низкое сопротивление и положительный ТКС. Начиная с 25-30нм электрическое сопротивление стабилизируется. Экспериментальные зависимости r=f(h) и ТКС=f(h) для плёнок Au, Al и Ni, применяемых в микроэлектронике для изготовления тонкоплёночных конденсаторов, контактных площадок и коммутационных шин [104], показывают, что стабилизация удельного сопротивления плёнок Au наступает при толщинах более 30 нм. Для плёнок Al и Ni стабилизация электрических параметров не наблюдается даже при толщине плёнки более 1 мкм.

Состав конденсатов оказывает наибольшее влияние на их электропараметры. Установлено [31, 121], что удельное сопротивление плёнок, полученных напылением сплавов меди с добавками Mn, Zr, Ti, Si существенно ниже удельного сопротивления исходного сплава. На основании теоретических и экспериментальных исследований авторами работ [34, 119] разработана концентрационно-зёренная модель, объясняющая закономерности формирования состава и свойств многокомпонентных металлических плёнок при полном испарении и конденсации сплавов в вакууме. Введение легирующих элементов в исходный сплав на основе меди позволяет существенно улучшить свойства плёнок без значительного увеличения их сопротивления. В работе [119] исследованы закономерности формирования структуры и электрических свойств вакуумных плёнок сплавов на основе меди, рекомендованных для изготовления контактов.

Термообработка свеженапыленных конденсатов оказывает определенное влияние на электропараметры, причем весьма незначительное при конденсации на нагретую подложку. Для каждого металла существует определённая температура, при которой происходят структурные превращения в плёнках. Удельное сопротивление является мерой неупорядоченности решётки [170, 183]. В некоторых случаях термообработка может привести к увеличению удельного сопротивления вследствие процессов окисления и спекания. Это увеличение сопротивления плёнки много больше того, которое можно было ожидать, исходя только из уменьшения толщины проводящего участка, обусловленного окислением. Это связано с тем, что окисление происходит по границам зерна. В случае плёнок сплавов возможно также избирательное окисление одного из компонентов (данные Е.Дина, 1964г.). Однако, когда окисление этого компонента завершается, более важное значение приобретает отжиг дефектов, в результате чего сопротивление со временем начинает уменьшаться.

Даже самый поверхностный анализ показывает, что наиболее универсальным методом получения функциональных конденсированных пленок высокой проводимости является испарение и конденсация металлов в вакууме [8, 22, 25, 42, 51, 60, 135]. При этом, как отмечено нами в [91], отличительной особенностью испарения сплавов в вакууме является невозможность применения к ним метода суперпозиции, т.е. испарение каждого компонента нельзя рассматривать изолированно, независимо от наличия других компонентов [125].

В зависимости от функционального назначения плёнок применяются различные способы испарения сплавов в вакууме [8, 51, 125]:

— испарение конечной навески сплава из одного источника;

— испарение сплава или одного компонента с непрерывной догрузкой тигля сплавом или другим компонентом (стационарное испарение);

— взрывное испарение небольших дискретных порций сплава, непрерывно подаваемого в испаритель.

Специфика теоретических расчетов и экспериментального исследования закономерностей испарения и конденсации сплавов в вакууме [80, 110, 111, 130] определяет необходимость детальной систематизации научных работ в указанном направлении. Некоторые физико-химические аспекты технологии получения многокомпонентных конденсированных систем обобщены и проанализированы нами в работе [190] и в следующем пункте настоящего раздела.

2. Особенности получения многокомпонентных систем в вакууме

Технологические процессы, основанные на испарении и конденсации металлов в вакууме [27, 120, 125, 142], получили широкое распространение в различных отраслях промышленности как альтернатива традиционным гальваническим методам нанесения покрытий. Преимущества вакуумной технологии заключаются, прежде всего, в экологической чистоте процесса, высокой экономической эффективности, высокой производительности процесса. Системный анализ этой технологии, а также конкретные примеры её практической реализации содержатся в монографиях [60, 120, 125, 135], а также в научных статьях сотрудников ОНАПТ (ранее ОТИПП им.М.В. Ломоносова), опубликованных в период 60-90-х годов прошлого столетия.

Применительно к задачам настоящей работы наибольший интерес представляют многокомпонентные вакуумные пленки и покрытия [60], которые во многих случаях превосходят по своим физико-химическим, электрофизическим, защитным и эксплуатационным характеристикам аналогичные системы из чистых металлов [120, 125].

Основной трудностью, возникающей при промышленном внедрении технологии получения многокомпонентных функциональных покрытий, является правильный выбор способа испарения сплавов и формирования покрытий [1, 60, 90, 91, 125, 127, 135, 190]. Выбор конкретного метода определяется задачами исследований, требованиями, предъявляемыми к эксплуатационным характеристикам покрытий и их физико-химическими свойствами [72, 83] и рядом других факторов.

Ретроспективный обзор научной и научно-технической литературы в области теоретического анализа закономерностей формирования многокомпонентных конденсированных систем [90] показывает, что основным методом является прямое испарение готовых сплавов в вакууме. Этот способ наиболее прост с точки зрения конструктивного решения, широко используется в практике научных исследований и в производстве [90, 91, 190]. Впервые он был рассмотрен в работах [1, 127]. Отдельные аспекты обзоров вошли в монографию [125]. В дальнейшем анализ работ в этом направлении поэтапно систематизировался [54, 60, 62, 135].

Известно, что скорость испарения чистого вещества в вакууме определяется температурой его испарения [27, 113, 120, 142] и существенно меняется при наличии примесей. В первом приближении при анализе закономерностей испарения сплавов в вакууме справедлив закон Рауля [113], аналитическая запись которого для бинарного сплава может быть представлена в следующем виде:

, (1.1)

где pA – давление паров чистого компонента А; p – давление паров при наличии компонента В; NA и NB – число молей компонентов А и В; nB – молярная доля компонента В.

Тенденции устанавливаемых законом Рауля в общем соблюдаются при испарении сплавов. Вместе с тем, у всех реальных сплавов наблюдается отклонение от закона Рауля. Для применения этого закона к реальным системам вводят коэффициенты активности (f), представляющие собой отношение реального давления паров к давлению над идеальным раствором. При расчетах скорости испарения компонента сплава в формулу Лэнгмюра вносят соответствующие поправки.

Из немногочисленных экспериментальных данных удалось установить некоторые общие закономерности. Так, по характеру испарения бинарные сплавы можно разделить на две группы [27]. К первой группе относятся сплавы, имеющие отрицательное отклонение от закона Рауля (f<1). Как правило, такая закономерность наблюдается в двойных системах, в которых образуются интерметаллические соединения или непрерывный ряд твердых растворов (например, Аg-Аu). Ко второй группе относятся системы, имеющие положительное отклонение от закона Рауля (f>1). Это системы эвтектического типа (Sn-Zn, Al-Zn, Pb-Cd, Cd-Zn) и сплавы с ограниченной растворимостью в твердом состоянии (Pb-Zn). Если же наряду с эвтектиками образуются интерметаллические соединения (например, Аg-Аl), то знак отклонения от закона Рауля зависит от температуры и концентрации. Отклонение от закона Рауля объясняется наличием сил связи между разнородными атомами. Так, чем больше сила связи, тем более отрицательное отклонение от идеального сплава. Наиболее сильные отклонения наблюдаются для многокомпонентных систем, например, для системы Ni-Cr-Cu-Al [164, 180]. Авторами предложена физико-химическая модель испарения, которая, однако, имеет существенные ограничения.

Сложность построения геометрической модели испарения многокомпонентных сплавов и проведения теоретического анализа закономерностей формирования покрытий отмечают также авторы работы [128] на основании исследований закономерностей испарения сплавов Si-Cr-Al-W и Si-Cr-W. Наблюдающееся отрицательное отклонение от закона Рауля для Si можно объяснить тем, что какая-то его часть находится в сплаве в связанном состоянии. Возможны также методические ошибки в определении состава в отдельные моменты времени, обусловленные наличием переходного режима в процессе разогрева испарителя. Наличие переходного режиме было отмечено при изучении закономерностей испарения и конденсации сплавов Pb-Sn [110].

При разработке технологии нанесения покрытий из сплавов методом испарения и конденсации в вакууме необходимо решать задачу обеспечения максимально возможного приближения состава покрытия к составу испаряемого сплава. Расчеты показывают, что решению этой задачи способствует повышение температуры испарения; при этом различие в скоростях испарения компонентов снижается. Установлено [115, 116], что для каждого сплава существует такая температура испарения, при которой составы конденсата и исходного сплава практически одинаковы. Обычно эти температуры испарения существенно выше применяемых на практике: 1200°С (Pb-Bi), 1500°С (Zn-Cd), 2200±200°С (Mg-Cd).

Отметим некоторые экспериментально наблюдаемые особенности испарения конечных навесок сплавов. Характерной особенностью метода испарения конечных навесок сплавов является фракционирование, [54, 120, 140], обусловленное различием скоростей испарения компонентов, образующих сплав. Формирующееся на подложке покрытие имеет неоднородный состав по толщине: начальные слои обогащены легколетучим компонентом, в последующих слоях преобладает вещество с малой упругостью паров.

Для получения покрытия такого же состава, как и испаряемое вещество, должно выполняться условие:

, (1.2)

где m – молекулярная масса компонента, f – коэффициент активности компонента, рo – давление паров чистого компонента.

Сравнение величины для разных материалов при одинаковой температуре показывает, что без значительного фракционирования испаряются двухкомпонентные сплавы из металлов только двух групп [142]: Al, Cr, Cu и Fe, Au, Ti, Ni.

В общем случае при испарении из одного тигля состав покрытия отличается от состава сплава в испарителе, но однозначно определяется им. Подробный теоретический анализ испарения бинарного сплава из одного источника приведен в работах [74, 115, 120, 125, 140]. Основным и наиболее важным выводом приведенных расчетов является то, что существует теоретическая возможность получения заданного состава в покрытии, если испарять не всю навеску, а только 5-10% содержимого тигля. Получению стабильного состава покрытия способствует также повышение температуры испарения.

При исследовании испарения конечных навесок сплавов наблюдается аномальное испарение отдельных компонентов. Так, при испарении сплава Al-Mg-Zn [116] в конденсате обнаружено повышенное содержание Al, в сравнении с теоретическим расчетом, а при быстром испарении сплава Pb-Zn в конденсатах содержится до 50% Pb. Ряд исследователей [103, 109, 115, 116, 189] объясняют отклонение от закона Рауля недостаточной скоростью диффузии легколетучего элемента из объема к поверхности испарения и обеднения, вследствие этого, поверхности легколетучим компонентом. Приближенная оценка влияния диффузии в расплаве на характер испарения приведена в работе [189], точное решение уравнения диффузии легколетучего компонента к поверхности при испарении сплава получено в работе [129].

Аномальное испарение нелетучего компонента, обусловленное недостаточной скоростью диффузии легколетучего компонента к поверхности расплава, связано с температурным режимом испарения. Например, при интенсивном режиме испарения сплава Pb-Sn [109] (температура испарения 1100°C) в начальной стадии сплав удовлетворительно подчиняется закону Рауля, однако в дальнейшем наблюдается аномальное испарение Sn, хотя данная система в целом хорошо соответствует идеальному сплаву (fPb»fSn»1). Ориентировочный расчет коэффициента диффузии Рb в расплаве показывает, что вблизи поверхности существует градиент концентрации. Если же температура испарения сплава Рb-Sn составляет 1500-1700°С [110], то экспериментальные и теоретические кривые кинетики фракционирования практически совпадают. Достаточным условием устранения аномального испарения труднолетучего компонента является конвективное перемешивание расплава в тигле, что обеспечивается небольшой глубиной тигля по сравнению с поверхностью испарения и небольшой скоростью испарения.

Фракционирование, характерное для метода испарения конечных навесок, в большинстве случаев является вредным явлением, от которого на практике стараются избавиться. Однако, в последнее время появились работы, описывающие положительные стороны фракционирования. Так, авторы работ [29, 182], рекомендуют метод испарения конечной навески сплава для контролируемого легирования полупроводников.

В целом, можно сказать, что точные теоретические расчеты испарения сплавов в вакууме возможны только для ограниченного числа двойных систем. Холлэнд [142] и Дэшман [27] считают, что хотя закон Рауля и дает возможность сделать приближенные полуколичественные оценки закономерностей испарения реальных систем, однако истинное поведение сплавов при их испарении в вакууме следует изучать только экспериментально, анализируя составы конденсатов и тигля в различные моменты времени. Практические методы изучения фракционирования анализируются в [90, 190].

3. Расчеты режимов испарения конечных навесок сплавов

Метод испарения конечных навесок, с точки зрения конструктивного решения, является одним из наиболее простых способов получения вакуумных покрытий из сплавов, однако теоретический анализ закономерностей процесса выполняется различными исследователями по-разному. Один из первых расчетов выполнен Цинсмейстером [189]. Недостатком расчетов является отсутствие аналитических выражений для кинетики фракционирования и распределения компонентов по толщине покрытия, но именно эти параметры имеют важное практическое значение. В частности, распределение компонентов по толщине покрытий оказывает существенное влияние на технологические и эксплуатационные свойства покрытий.

Авторами [54, 60, 135] впервые был предложен новый метод расчета фракционирования бинарных систем при испарении в вакууме конечных навесок. Суть метода заключается в следующем. Пусть в момент времени t=0 в тигле находился бинарный сплав с весомым содержанием компонентов m10 и m20 (расчеты приведены к единичной поверхности испарения). В произвольный момент времени t в тигле остается m1 и m2 г/см2 каждого компонента, соотношение которых будет отличаться от первоначального соотношения m10 и m20. За время dt с учетом выражения для скоростей испарения [27], убыль массы каждого компонента определится следующим образом:

. (1.4)

где m1 и m2 – молекулярные (атомные) массы компонентов; и – упругости паров чистых компонентов при температуре Т; n1(t) и n2(t) – молярные доли компонентов; f1 и f2 – коэффициенты активности компонентов в сплаве; к – постоянный коэффициент, зависящий от выбора системы единиц. Если и выражены в мм рт.ст., то к = 0,0585, если в Па – то к = 7,7Ч104.

Расчёты кинетики фракционирования [60, 135] с использованием системы уравнений (1.4) позволяют судить о распределении компонентов сплава по толщине покрытия. Этот параметр является основной характеристикой функционального покрытия, определяя его электрические, физические и эксплуатационные свойства. Задача об изменении состава покрытия как функции времени и о распределении состава по толщине покрытия решена в работе [140] в предположении конвективного перемешивания расплава в тигле [110] и фиксированной температуре испарения. Аналитические выражения

, (1.5)

(1.6)

позволяют определить содержание легирующего компонента в покрытии в произвольный момент времени t и оценить распределение легирующего компонента по толщине покрытия h (отн.ед.) при полном испарении навески. Постоянные , , и определяются термодинамическими свойствами компонентов сплава и геометрией испарения [60, 135].

Данная методика применима к любому бинарному сплаву при условии выполнения закона Рауля. Она может быть распространена и на системы с числом компонентов более 2-х [76]. Основное её ограничение — предположение о равенстве единиц коэффициентов активности всех компонентов сплава.

Схема расчетов, для двойных систем, может быть распространена и на системе с числом компонентов больше двух. В общем виде задача об изменении состава покрытия во времени решена в работе [45].

Приведенные в работе [45] общие формулы в частном случае при n=2 совпадают с формулами [140] с точностью до коэффициента активности.

Результаты теоретических расчетов фракционирования и распределения состава по толщине покрытия, предложенные в работах [45, 140], можно использовать при анализе систем, слабо отклоняющихся от идеальности (например, Fe-Cr [174, 185], Pb-Sn [110] и др.), либо при отсутствии данных об активности компонентов в сплаве. В том случае, когда активности компонентов в сплаве известны или их определение не представляет практических трудностей, можно рекомендовать методику расчета фракционирования, предложенную авторами работ [30, 78, 112] и использованную ими при изучении закономерностей испарения сплавов Cu-Al. Выведенные формулы связывают, в общем виде, состав конденсата с составом расплава в любой произвольно выбранный промежуток времени из полного цикла испарения. Полный цикл испарения разбивается на i интервалов; в течение каждого из которых коэффициенты конденсации aA, aB и коэффициенты активности fA и fB определены и постоянны (рассматривается бинарный сплав).

Анализ метода расчета фракционирования бинарных систем, предложенного в [30, 78, 112], показывает его несомненные преимущества при изучении закономерностей испарения двойных систем, для которых известны коэффициенты активности f. Методика может быть успешно применена и при анализе испарения “идеальных” систем. Недостаток данного методического подхода к решению задачи о фракционировании заключается в том, что для систем с числом компонентов более трех вывод расчетных формул сложен и в настоящее время отсутствует [190].

Можно сказать, что методы расчета фракционирования многокомпонентных систем при испарении конечных навесок, приведенные выше, дают возможность решить практически все задачи, возникающие при изучении испарения и конденсации сплавов в вакууме. Применение того или иного метода определяется задачами исследования, необходимой точностью определения изучаемых параметров, наличием данных о термодинамической активности компонентов в расплаве.

Из других методов решения аналогичных задач следует отметить работу [2]. Авторы получили в неявном виде зависимость концентрации компонента в тигле от времени и начальных условий. Уравнение, показывающее, каким должно быть отношение скоростей испарения чистых компонентов U, чтобы при заданных начальных условиях покрытие имело необходимый состав и толщину, записывается в виде:

, (1.7)

где М’ – масса конденсата, М0 – начальная масса сплава в испарителе, с01 – исходная концентрация компонента в испарителе, с’1 – необходимая концентрация компонента в покрытии.

Авторы [60, 126] отмечают, что формула (1.7) имеет ограниченное применение, так как отношение скоростей испарения чистых компонентов почти не зависит от температуры, что затрудняет выбор режима испарения. Если же подставить действительное отношение скоростей испарения компонентов при различных температурах, то уравнение (1.7) для ряда двойных систем (например, Cu-Zn) не решается ни при каких начальных условиях. Применение соотношения (1.7) ограничивается сплавами, компоненты которых мало отличаются по скоростям испарения (например, система Ag-Au). Именно для такого сплава авторы работы [2] провели экспериментальную проверку предложенного ими метода расчета.

В некоторых случаях модель идеального раствора не удовлетворяет необходимой точности расчета фракционирования и распределения состава по толщине покрытия, вследствие чего значение термодинамической активности компонентов становится обязательным.

Данных об активности компонентов в двойных системах в литературе довольно мало. В табл. 1.1 приведены данные об активности цинка в медно-цинковых сплавах [27], из которых видно, что в диапазоне значений n более 0,8 значения f совпадают со значениями n и, таким образом, сплавы этих составов при их испарении в вакууме подчиняются закону Рауля. В области малых концентраций цинка имеет место отрицательное отклонение от закона Рауля.

Авторами работы [78] определены значения активности компонентов в расплаве системы Cu-Al. Приведенные ими данные по составу конденсатов и соответствующих им расплавам использованы для определения активности меди в жидких расплавах Cu-Al графическим интегрированием уравнения:

. (1.8)

Таблица 1

Значения c, n, a и f для медно-цинковых сплавов при 727 °С

* – для a-фазы f = 0,31

Активность меди рассчитывалась по площади, ограниченной кривой зависимости с поправкой на молекулярные массы компонентов. Затем, по значениям активности меди, рассчитывался коэффициент активности . Коэффициент активности алюминия в сплавах Сu-Аl определялся по коэффициенту активности меди графическим интегрированием известного уравнения Гиббса-Дюгема, для данной системы имеющего вид:

. (1.9)

Возможность графического определения величины этого интеграла доказана в работе [26], так как величина fAl всегда конечна. Результаты экспериментов работы [30] и сопоставление их с экспериментальными данными других исследователей [187] показывают, что значения активности меди в сплавах с содержанием алюминия более 10 вес.% не совпадают: по данным [30] активность меди в расплавах выше. Объясняют этот эффект [78] взаимодействием части алюминия с материалом испарителя с образованием тугоплавких соединений и снижением содержания алюминия в расплаве.

Данные об активности алюминия в сплавах Сu-Аl могут быть использованы для расчета режима стационарного испарения (см. п. 1.4) при нанесении покрытий на полосовые материалы в непрерывном или полунепрерывном режимах металлизации [60, 125, 135].

Авторы работы [45] определяли коэффициенты активности несколько иным методом. Для двойных систем нетрудно получить, что

, (1.10)

, (1.11)

где и – концентрации компонентов в покрытии при t = 0. Соотношения (1.10) и (1.11) позволяют определить коэффициент активности опытным путем. Эксперимент, проведенный на сплаве Fe-Cr при температуре испарения 1600 °С показал, что , при м2/кг. Отношение . Близость fFe и fCr к единице указывает на то, что исследуемый сплав по свойствам приближается к идеальному раствору. Для некоторых других систем данные об активности компонентов приведены в работе [161].

Существующие экспериментальные исследования фракционирования в своей основе имеют один принцип: сопоставление данных о составе конденсатов и расплава на различных стадиях испарения навески. Однако экспериментально эта задача решается различными методами. Детально все известные методы проанализированы в работах [54, 60, 135].

4. Закономерности формирования многокомпонентных систем в режиме стационарного испарения сплавов

В основном, метод испарения конечных навесок используется только при получении тонких пленок различного назначения, причем одним из обязательных условий технологии является фиксированная геометрия испарения, т.е. осаждение пленок проводится на неподвижные относительно испарителя подложки.

В условиях массового производства, а также при необходимости получения покрытий значительной толщины (более 30…40мкм [125]) в практике вакуумной металлизации применяют метод стационарного испарения [60, 135] (в зарубежной литературе используется термин Steady-State evaporation), при котором состав сплава в испарителе, а следовательно, и состав пара над ним и конденсата стабилизируется за счет непрерывной подачи в испаритель компонентов сплава. Впервые теоретические аспекты испарения сплавов в стационарном режиме рассмотрены в работах Дейла [157], Фостера и Пфайфера [160], кинетика и термодинамика процесса стационарного испарения двойных сплавов приведена в работе [174], сведения о промышленном использовании метода стационарного испарения – в обзоре [187] и в монографии [125].

Методика расчета стационарного состояния может быть распространена на случай нескольких компонентов, если не образуются интерметаллические соединения, приводящие к отклонению от закона Рауля.

На основании баланса масс можно записать:

, (1.12)

где V – объем сплаве в испарителе; S – площадь поверхностного испарения; c1 – концентрация компонента в испарителе (моль/ед. объема); c10 – концентрация компонента в подаваемом материале (моль/ед.объема); R – скорость подачи материала (моль/с).

В работе [157] рассмотрены три варианта установления стационарного состояния, отличающиеся начальными условиями. Подробный анализ всех трех вариантов обсуждается в [190].

Большое значение для практического осуществления метода имеет исследование переходного режима от начала испарения до установления стационарного состояния, в частности, определение времени переходного режима и анализ путей его уменьшения. В переходном режиме могут изменяться с течением времени состав пара (конденсата), сплава в тигле, подаваемого материала, скорость испарения и подачи компонентов, температура испарения и объем расплава в тигле.

Для ориентировочной оценки времени переходного режима авторы [160] предлагают формулу:

, сек (1.13)

где r – плотность сплава в испарителе; и – весовые проценты компонентов в покрытии и в испаряемом сплаве при стационарном режиме.

Начальная концентрация компонентов в испарителе принята равной необходимой концентрации их в покрытии.

Расчеты для сплава 80% Ni – 20% Cr показали, что стационарное состояние, которому соответствует содержание хрома в покрытии 37%, достигается за 48минут. В некоторых системах расчетное время достижения стационарного режиме составляет несколько часов, что неприемлемо для практики вакуумной металлизации. Эффективными методами сокращения времени переходного режима являются правильный выбор начальной концентрации сплава в испарителе, повышение температуры и площади испарения, уменьшение объема испарителя.

Методика расчета стационарного режима испарения может быть распространена на случай нескольких компонентов, если не образуются интерметаллические соединения, приводящие к отклонению от закона Рауля. Постановка задачи для испарения многокомпонентной системы достаточно сложна [138]. Некоторые методические приемы решения подобных задач для испарителей непрерывного действия приведены в работах [3, 138]. Стационарное состояние зависит от геометрии испарения [3], а также от соотношения скоростей испарения и подачи в расплав одного из компонентов (как правило легирующего [138]). При непрерывном восполнении утечки вещества для обеспечения стационарного состояния необходимо использовать тигель с изменяющейся площадью поверхности испарения (расширяющийся сверху конусный тигель). Стационарный режим устанавливается также в тех случаях, когда скорость подачи легирующего компоненте в расплав меньше скорости испарения со всей испаряющейся поверхности расплава [138]. В противном случае, наблюдается неограниченное возрастание примеси в расплаве, вследствие чего, начиная с некоторого момента времени систему необходимо рассматривать как сплав.

Авторы [8] выполнили теоретический анализ закономерностей кинетики испарения и конденсации двойных систем в стационарном режиме. Подход аналогичен работе [157], однако представляет определенный интерес вывод формулы для времени переходного режима. В качестве критерия оценки выхода режима испарения на стационарный предлагается брать не заданную концентрацию покрытия, как это сделали авторы [160], а допустимое относительное отклонение состава конденсата D от заданного. Формула в этом случае имеет вид:

. (1.14)

Здесь с0 – исходная концентрация одного из компонентов в расплаве; – концентрация этого же компонента в конденсате при t=0; – концентрация компонента в конденсате при . Общая схема расчетов, приведенная в работе [8], была использована для расчета стационарного режима испарения сплава Fe-Cr. Экспериментальная проверка показала соответствие расчетных и опытных данных.

Метод стационарного испарения имеет большие перспективы при нанесении покрытий из сплавов на непрерывно движущуюся полосовую сталь, пленку и другие рулонные материалы. Преимуществом метода является то, что различие в термодинамических свойствах компонентов не играет существенной роли. Кроме того, имеется возможность испарять сплавы длительное время и получать покрытия строго определенного состава по толине. Есть у метода стационарного испарения и нерешенные проблемы. В научном плане задача решена только для бинарных систем в предположении, что выполняется закон Рауля. Решение задачи в общем случае отсутствует; имеется только одна попытка обобщить один из типов стационарного испарения на n компонентов [157]. В техническом плане можно выделить две основные задачи, от успешного разрешения которых зависит широкое использование метода в промышленности. Первая задача – создание долгодействующих испаряющих систем и средств контроля и регулировки стабильности режима испарения, вторая – стабилизация температурного режима нанесения покрытий в установках непрерывного или полунепрерывного действия и техническое решение охлаждения вакуумных камер. Судя по литературе, в настоящее время этим задачам практически внимание не уделяется. Некоторые конкретные примеры применения метода стационарного испарения обсуждаются в работах [54, 60, 125, 135], теоретические варианты решения типовых задач обобщены и систематизированы нами в обзоре [90, 92].

5. Некоторые электрофизические и физико-химические характеристики многокомпонентных конденсированных структур

Направлением настоящего исследования является выбор оптимальных составов многокомпонентных структур на базе комплексного изучения и анализа наиболее характерных их параметров – электрических, электрофизических, коррозионно-электрохимических, механических и т.д. В литературе отсутствуют сведения о системном подходе к решению этой проблемы, однако имеется достаточно обширная информация о конкретных параметрах конденсированных структур, в частности, об электрофизических свойствах. Выбор легирующих добавок к сплавам меди определяется, как правило [60, 150], требованиями, предъявляемыми к эксплуатационным параметрам. Нами сделана попытка обобщить некоторые наиболее характерные подходы к решению проблемы выбора оптимальных составов многокомпонентных структур для конкретных изделий [92]. Авторы [16, 58, 150] изучали влияние Mn, Ni, Al, Ti и Pb в различных комбинациях и весовых соотношениях на электрические свойства многокомпонентных пленок на основе меди. Также сделана попытка оценить влияние каждого компонента сплава на удельное сопротивление и термический коэффициент полученной пленки. Образцы для исследований получали на лабораторной установке при давлении остаточных газов в вакуумной камере 10-2 Па. В качестве подложек использовались ситалловые пластинки 8ґ60мм. Осаждение пленок проводилось на предварительно разогретую поверхность, температура подложки составляла 300-350°С. Толщина покрытий – 1,0-1,5 мкм. Для исключения влияния неточности измерения толщины пленки на значения электрических параметров рассчитывалось произведение gr, где g – плотность конденсата, r – удельное сопротивление. Определение ТКС пленок исследуемых сплавов осуществлялось в диапазоне температур 20-100 и 20-200°С.

Из табл.1.2 видно, что удельное сопротивление пленок оловосодержащих сплавов выше, чем у безоловянных, в то время как ТКС существенно ниже. Сравнение групп сплавов 5-13-15, 1-17, 8-16 и 3-6-14 показывает, что наличие олова в исходной навеске приводит к более сильному влиянию легирующих добавок на удельное сопротивление конденсата. Так, в сплаве 5 прирост за счет Ni и Cr в присутствии олова составляет 12,8мкОмЧсм, в сплаве 13 за счет тех же легирующих добавок – 4,4 мкОмЧсм, а в сплаве 15-2,8мкОмЧсм. Введение в медно-оловянные сплавы Ni, Cr и Ве сопровождается образованием соединений

выбранных металлов не только с медью, но и с оловом. Возможно образование и тройных интерметаллических соединений. Это приводит к формированию качественно новой решетки, отличной от двухфазной системы Cu-Sn и безоловянных систем, и способствует дополнительному росту удельного сопротивления. Однако при сопоставлении электрофизических свойств многокомпонентных пленок [58, 99] массивных сплавов и конденсатов было обнаружено, что правило Матиссона rсплЧaспл=rметЧaмет для конденсатов этих же сплавов не выполняется из-за особенностей процесса формирования. Выполнение правила Матиссона отмечено только для сплавов Cu-Sn при содержании Sn в исходной навеске 8-12% и более 60 %. Введение никеля в медно-оловянный сплав способствует выравниванию параметра ra в широком диапазоне концентраций олова.

В работе [58] изучены электрофизические свойства пленок, полученных вакуумным испарением сплавов Cu-Sn и сплавов этой же системы с добавлением Ni, Cо, Аl. Расчеты режимов испарения конечных навесок Cu-Sn и их аналогов, выполненные по методике работы [140], показывают, что система Cu-Sn испаряется в вакууме без значительного фракционирования, особенно при температуре испарения выше 1500-1700°С. Это способствует формированию идентичных по составу и свойствам слоев на различных стадиях испарения навески и создает предпосылки для промышленного использования сплава в установках периодического действия. Легирующие добавки не оказывают существенного влияния на характер испарения сплава Cu-Sn. Анализ влияния состава медно-оловянных сплавов и легирующих добавок на удельное сопротивление r пленок показал [58, 106], что общей закономерностью является немонотонный ход кривых r=f(%Sn): в диапазоне 38-42% Sn имеет место максимум удельного сопротивления. Характерно, что добавки Ni и Cо не меняют положения максимума кривых по оси абсцисс и имеет место соответствие между массивными сплавами системы Cu-Sn и изучаемыми конденсатами. Добавки Аl, наоборот, приводят к сдвигу максимума кривой r=f(%Sn) в область низких концентраций олова. При содержании Аl 1-3 вес % общий характер зависимости r=f(%Sn) остается без изменений.

В работе [106] проведены исследования пленок сплавов олово — медь, получаемых методом испарения в вакууме, с целью замены серебра в слаботочных скользящих контактах. Сравнение зависимостей r = f(%Sn) пленок и контактного сопротивления Rк = f(%Sn) пленок Сu-Sn в паре с никелевыми сферическими контактами показывает, что имеет место определенная корреляция между удельными и контактным сопротивлениями. Максимум контактного сопротивления совпадает с наибольшими значениями удельного сопротивления. При этом для пленок составов 38-48 % Sn характерны повышенная хрупкость и склонность к растрескиванию при незначительных нагрузках.

Детальные исследования влияния структуры и состава конденсированных слоев на электрические свойства пленок сплавов меди выполненных В.И. Поповым [119, 120], показывают, что легирование меди марганцем, алюминием, титаном и палладием увеличивает удельное сопротивление массивного сплава, не оказывая существенного влияния на удельное сопротивление пленок. Заслуживает внимание тот факт, что размеры зерна пленки, определяющие ее электрические свойства, весьма чувствительны к физико-механическим свойствам легирующих элементов. Наиболее сильное влияние оказывают элементы, имеющие неограниченную растворимость в меди: Al, Mn, Ti. Анализ данных по удельному сопротивлению тонких пленок, полученные В.И. Поповым в работе [113], и сравнение с закономерностями формирования структуры конденсатов показывают, что введение легирующих добавок в медь сопровождается измельчением зерна и ослаблением влияния толщины пленки на удельное сопротивление и рельеф поверхности. Некоторые отличительные особенности в электрических параметрах пленок обнаружены при испарении сплавов Cu-Mn-Ni-Тi, содержащих 1,45-2,10% Mn; 3,9-5,9% Ni; 0,02-0,09% Тi [119]. Пленки имеют удельное сопротивление в 1,5-2,0 раза выше, чем удельное сопротивление чистого медного конденсата. В случае неполного испарения навески сплавов данных составов r пленки отличается от r медных конденсатов в 8-12 раз. Для пленок, полученных испарением сплавов Cu-Mn-Со и Cu-Mn-Pd-Тi, существенных отклонений электрических параметров от чистых медных конденсатов не наблюдается.

Одной из фундаментальных работ, посвященных исследованию электрофизических свойств пленок различных сплавов на основе меди, применяемых в электронной технике, является статья [18], в которой дана наиболее полная информация об электрических параметрах конденсированных систем. В качестве легирующих добавок использованы Mn, Ni, Со, Pd, Тi, Те, Al, Cr, Mg, Y. Установлено, что легирование меди марганцем увеличивает r на 50%, марганцем и палладием – на 60%, алюминием – на 20%. Наименьшее влияние оказывает теллур: введение 0,48% Те снижает электропроводность меди всего на 4%. Следует отметить, что в ряде случаев электропроводность пленок выше, чем исходных массивных сплавов.

Анализ данных работы [58] позволил определить одно из направлений настоящего исследования, а именно: изучение некоторых электрофизических характеристик пленок сплавов меди (раздел 5) и проведение сопоставительного анализа с физико-химическими характеристиками конденсатов (разделы 3 и 4 настоящей работы).

Что касается физико-химических характеристик конденсированных структур, а также их влияние на основные эксплуатационные и электрические параметры, то подобных сведений в литературе крайне мало. Можно лишь выделить работу [60], в которой обобщены результаты исследования влияния сплава контактных площадок резисторов типа СПЗ на стабильность Rmin во влажной камере (влажность 98%, температура 35°С, t=21сут.), при испытаниях на износостойкость (10000 циклов с металлическими контактами и 25000 с графитовыми щетками) и в условиях смены температур (от –70°С до +40°С). Материалы контактных площадок – сплавы меди. Статистическая обработка результатов измерений (на каждый состав покрытия и вид испытаний – 40-60 образцов) позволяет сделать следующие выводы. В условиях смены температур максимальные изменения Rmin не превышают 0,96Ом при допускаемом отклонении 35Ом; изменения характерны для всех систем и остатков. Наилучшую влагостойкость (табл. 1.2) показали пленки сплавов Cu-Sn (60-62% Sn) и Cu-Sn-Со (10-12% Sn; 0,5-1,5% Со). Сплав Cu-Sn-Ni (60-62% Sn; 1,0 % Ni) близок по характеристикам к первым двум сплавам, но имеет несколько пониженную стойкость в паре с графитовой щеткой. Сплавы Cu-Sn с содержанием олова 10-12 % по максимальному значению близки к указанным, однако имеют более низкую воспроизводимость результатов по . Дисперсия первых трех сплавов 0,005-0,05 Ом2, последнего 25,4-30,6 Ом2.

Таблица 2

Влаго- и износостойкость переменных резисторов
с контактными площадками из сплавов Cu-Sn и их аналогов

Испытания и износостойкость показали, что все исследованные сплавы удовлетворяют типовым требованиям, за исключением сплавов Cu-Sn-Ni
(38-42 % Sn; 0,5-1,5 % Ni) и Cu-Sn-Со (40-45 % Sn; 0,5-1,0 % Со). Сводные данные типовых испытаний резисторов с контактными покрытиями из сплавов Cu-Sn и аналогов приведены в табл. 1.2 откуда видно, что наилучшие характеристики имеют сплавы 4 и 6. Сплав Cu-Sn (60-62 % Sn) более предпочтителен с точки зрения технологичности; в производственных условиях проще использовать бинарные сплавы.

6. Общие выводы по обзору и постановка задачи исследования

Обобщая ретроспективный обзор научной, технической и патентной литературы (пп.1.1-1.5, [90, 91, 190]) по опыту использования многокомпонентных конденсированных структур, а также используя результаты фундаментальных исследований в области получения различных конденсационных покрытий [27, 54, 60, 124, 125, 135, 142], можно предложить достаточно наглядную классификацию всех существующих и принципиально возможных методов получения многокомпонентных конденсационных структур (рис.1.1). Основываясь на результатах работ [54, 60, 135], объектом исследования в настоящей работе были слабо фракционирующие системы Cu-Sn, Cu-Sn-Al и Cu-Sn-Ni, получаемые прямым испарением сплавов в вакууме с последующей конденсацией как на неподвижных, так и на вращающиеся подложки. Выбор этих систем обусловлен перспективностью их применения взамен благородных металлов в некоторых изделиях электронной техники [38], простотой реализации процесса в условиях крупносерийного производства с использованием недорогого оборудования [54, 135].

Несмотря на значительные успехи в области разработки технологии получения различных покрытий и функциональных многокомпонентных структур, существует ряд задач, тормозящих широкое внедрение этих технологий в производство. Типичная схема научных исследований и технологических операций, предшествующих промышленной апробации технологий, приведена на рис.1.2.

– концентрационные зависимости электропараметров свеженапыленных пленок и (частично) после температурных воздействий и т.д.

Однако, вопросы влияния условий эксплуатации на характер измерения электропараметров функциональных конденсированных структур, закономерности физико-химического взаимодействия пленок с агрессивными компонентами окружающей среды в литературе практически не рассматриваются. В то же время, если эксплуатация изделий предусматривается без дополнительной защиты от воздействия окружающей среды, данные о физико-химических свойствах конденсатов, о влиянии внешних условий на стабильность эксплуатационных характеристик пленочных элементов устройств становятся едва ли не определяющими при выдаче окончательных рекомендаций по технологии получения функциональных конденсированных структур с учетом возможных условий их эксплуатации.

В этой связи в рамках настоящего исследования нами были поставлены следующие задачи:

– теоретически проанализировать закономерности испарения и конденсации тройных металлических систем;

– разработать методики изучения и оценки изменения электропараметров конденсатов при различных внешних воздействиях;

– изучить закономерности физико-химического поведения конденсированных структур в некоторых жидких средах, определить и табулировать основные параметры процесса электрохимической коррозии как функции состава конденсата;

– изучить изменение электропараметров пленок в модельных и реальных условиях эксплуатации;

– разработать методику оптимизации состава конденсата по различным критериям.

Решение этих задач отражено в пункте 2.5 настоящей работы.

Выводы

1. Анализ экспериментальных и теоретических исследований в области техники получения функциональных покрытий показывает, что ряд сплавов на основе меди могут быть успешно применены в некоторых изделиях электронной техники взамен аналогичных исполнительных элементов из благородных металлов.

2. Существующие методы теоретического анализа закономерностей испарения и конденсации многокомпонентных систем в вакууме (испарение конечных навесок, стационарный режим испарения, взрывное испарение и т.д.) разработаны, как правило, для двухкомпонентных систем. В этой связи, поставлена задача, разработать методику полуколичественного анализа закономерностей формирования покрытий с числом компонентов более двух.

3. Обзор научной и научно-практической литературы показал, что данные о физико-химических свойствах конденсированных структур и их взаимосвязи с основными эксплуатационными параметрами в литературе практически отсутствуют; это затрудняет выбор и оптимизацию технологических параметров нанесения конденсированных структур с заданными свойствами. Поставлена задача на основании комплексных физико-химических исследований разработать научно обоснованные подходы к выбору конкретных многокомпонентных систем с требуемыми функционально-эксплуатационными параметрами.

список использованной литературы

Адгезия и пористость медных ионных покрытий на стали / И.Л. Ройх, О.В. Лебединский, А.И. Костржицкий, С.А. Приббе // Вакуумная металлизация в нар. хоз-ве: Тез. докл. II Межресп. науч.-техн. конф. – Рига, 1977. – С. 51-52.

Алешкин А.А. О возможности получения двухкомпонентных пленок металлов заданного состава испарением из сплава / А.А. Алешкин, Н.Н. Раров // Физика и химия обраб. материалов. – 1970. – № 4. – С.43-48.

Апаев Б.А. Динамика масс в испарителе непрерывного действия / Б.А. Апаев, С.А. Пиковский, Ф.В. Урьяш // Изв. вузов. Радиотехника. – 1971. – ХIV. – С.1778-1780.

Аржаникова И.Н. Влияние режимов испарения и конденсации на состав и структуру пленок сплавов Cu-Mn-Ni / И.Н. Аржаникова, З.В. Кичкина, В.Н. // Электронная техника. Сер. Материалы. – 1978. – Вып. I. – С.3-7.

А.С. 269226. Сплав для изготовления микросхем / А.С. Косенков, Г.И. Павленко, В.П. Попов. – Опубл. в Б.И. 1970, №15, Н 05 к 7/00.

А.С. 434484. Токопроводящий материал / М.С. Блудов, А.А. Слягин. – Опубл. в Б.И., 1974, №24, Н 01 с 1/02.

А.С. 1522780. Способ очистки подложек / О.Н. Соловьева, А.И. Костржицкий, №4221821 / 24-21, заявл. 03.04.87; опубл. 1989.

Бадиленко Г.Ф. Закономерности кинетики испарения и конденсации двойных сплавов // Проблемы спец. электрометаллургии. – 1975. – №2. –
С. 62-66.

Баранник В.П. К вопросу о том, как понимать и измерять коррозию металлов / В.П. Баранник, В.В. Романов // Защита металлов. – 1982. – т.18, №2. – С. 309-314.

Башев В.Ф. Электрические свойства напыленных пленок Al-Cu / В.Ф. Башев, Ф.Ф. Доценко, И.С. Мирошниченко // Физика металлов и металловедение. – 1990. – №11. – С. 201-202.

Белевский В.П. О некоторых особенностях формирования электрических свойств вакуумных конденсатов алюминия, никеля и золота / В.П. Белевский, М.В. Белоус, В.И. Недоступ // Физика и химия обраб. материалов. – 1972. – №4. – С. 30-34.

Беренблит В.М. Коррозия и каталитическая активность сплавов Cu-Ni / В.М. Беренблит, Г.П. Павлова, И.Н. Половинина // Пассивность и коррозия металлов. – 1971. – №3. – С. 54-56.

Бочкарев А.Б. Способ повышения стабильности тонкопленочных резисторов // Электронная техника. Сер. Радиодетали и радиокомпоненты. – 1975. – Вып.6. – С. 42-45.

Бочкарева А.Я. Влияние температуры подложки на некоторые электрические характеристики резистивной пленки // Электронная техника. Сер. Радиодетали и радиокомпоненты. – 1977. – №4. – С. 40-46.

Введенский А.В. Физико-химические и электрохимические аспекты появления границ стойкости твердых растворов, содержащих благородный металл / А.В. Введенский, И.К. Маршаков // Конгр. Защита – 92: Расш. тез. докл. – М., 1992. – т.1, ч.1. – С. 52-54.

Вигдорович В.Н. Влияние легирующих элементов на электрофизические свойства конденсированных пленок сплавов меди / В.Н. Вигдорович, В.И. Попов // Изв. АН СССР. Металл. – 1979. – №6. – С. 47-53.

Влияние легирующих элементов на свойства конденсатов, полученных вакуумным напылением сплавов на основе меди / М.В. Белоус, А.М. Корольков, А.С. Косенков и др. // Физика и химия обраб. материалов. – 1971. – №3. – С. 38-42.

Влияние легирующих элементов на электрофизические свойства пленок на основе меди / М.В. Белоус, А.М. Корольков, Е.В. Лысова и др. // Физика и химия обраб. материалов. – 1975. – №5. – С. 136-138.

Влияние скорости движения среды на коррозию конденсатов Cu-Al в воде / А.Б. Яменко, В.Г. Гречанюк, Б.М. Емельянов и др. – К., 1990. – 14 с., ил. – Деп в УкрНИИНТИ 13.03.90. №487 – ММ90.

Влияние условий эксплуатации на электрофизические свойства вакуумных пленок сплавов на основе меди / И.Л. Ройх, А.И. Костржицкий, М.П. Кабанченко и др. // Электронная техника. Сер. Материалы. – 1979. – №12. – С. 13-16.

Горшков М.М. Эллипсометрия. – М.: Наука, 1974. – 368 с.

Гринченко В.Т. применение вакуумной плазменно-дуговой металлизации в производстве изделий электронной техники / В.Т. Гринченко, Г.Ф. Ивановский // Электронная пром-сть. – 1980. – №3. – С. 27-29.

Гуйван Э.И. Влияние легирующих элементов и условий напыления металлических пленок на их адгезионные свойства / Э.И. Гуйван, В.И. Попов // Электронная техника. Сер. Технология и орг. пр-ва. – 1971. – №8. –
С. 59-66.

Гусев И.В. О воспроизводимости свойств пленок медных сплавов / И.В. Гусев, С.И. Сидоренко // Вестник Киевск. политехн. ин-та. Сер. Машиностроение. – 1979. – №16. – С. 35-38.

Данилин Б.С. Вакуумные методы получения тонкопленочных элементов интегральных схем (состояние и перспективы развития) // Электронная техника. Сер. Микроэлектроника. – 1972. – №3. – С. 75-82.

Даркен Л.С. Физическая химия металлов / Л.С. Даркен, Р.В. Гурри. – М.: Металлургиздат, 1960. – 582 с.

Дэшман С. Научные основы вакуумной техники. – М.: Мир, 1964. – 716 с.

Ермолаев Л.А. Пленочные резисторы и их параметры / Л.А. Ермолаев, А.И. Мочалов, Ю.Д. Чистяков // Сб. науч. тр. по проблемам микроэлектроники. – 1972. – №11. – С. 144-160.

Закономерности формирования структуры и свойств пленок, полученных вакуумным напылением сплавов на основе меди / А.И. Корольков, Е.В. Лысова, Г.И. Павленко, В.И. Попов // Физика и химия обраб. материалов. – 1973. – №3. – С. 58-62.

Испарение сплавов на медной основе в вакууме / Д.И. Лайнер, Л.М. Островская, О.С. Серебрянникова, М.И. Цыпкин // Сб. науч. тр. Гипроцветметобработка. Вып. 42. – М., 1974. – С. 105-112.

Использование сплавов меди для вакуумного напыления пленочных элементов микросхем с высокой проводимостью / А.М. Белоус, А.М. Косенков, Е.В. Лысова и др. // Электронная техника. Сер. Материалы. – 1972. – №1. – С. 14-19.

Использование сплавов на основе меди для вакуумного напыления пленочных элементов микросхем с высокой проводимостью / М.В. Белоус, А.М. Корольков, А.С. Косенков // Электронная техника. Сер. Материалы. – 1972. – №2. – С. 14-17.

Исследование анодных оксидных пленок на Cu-Ni сплавах / А.Н. Камкин, А.Д. Давыдов, Цзу-Гу Дин, В.А. Маричев // Электрохимия. – 1999. – т.35, №5. – С. 587-597.

Исследование формирования структуры пленок, полученных испарением в вакууме сплавов медь-никель-марганец / М.В. Белоус, Н.Р. Бочвар, Е.В. Лысова и др. // Физика и химия обраб. материалов. – 1975. – №6. – С. 66-68.

Исследование физико-механических и коррозионных свойств сплавов на основе меди и никеля / С.Д. Пидгайчук, В.И. Григорьев, А.Ф. Сидельник, В.Ф. Цуркан // Физико-хим. механика материалов. – 1993. – т.29. – С. 127-128.

Кабанченко М.П. Влияние легирующих добавок, полученных испарением конечных навесок сплавов на основе меди / М.П. Кабанченко, А.И. Костржицкий, Г.М. Иванов // Электронная техника. Сер. Материалы. – 1981. – №6. – С. 3-6.

Кабанченко М.П. Исследование износоустойчивости контактных площадок переменных непроволочных резисторов // М.П. Кабанченко, Л.П. Кошкина, А.И. Костржицкий // Электронная техника. Сер. Материалы. – 1982. – №7. – С. 70-72.

Кабанченко М.П. Исследование технологии нанесения и свойств функциональных покрытий из сплавов на основе меди взамен серебрения: Автореф. дис. … канд. техн. наук. – М.: МИЭТ, 1984. – 23 с.

Кабанченко М.П. Научные и практические аспекты получения термостабильных проводящих покрытий // М.П. Кабанченко, А.И. Костржицкий // Материалы Межд. конф. по электронно-лучевым технологиям. – Варна (НРБ), 1990. – С. 581-586.

Кабанченко М.П. Оптимизация процессов получения пленок с равномерным распределением по толщине на вращающихся подложках / М.П. Кабанченко, А.И. Костржицкий // Физика и технология тонких полупроводниковых пленок: Тез. докл. III Всесоюз. конф. – Ив.-Франковск, 1990. – С. 153.

Кабанченко М.П. О стабильности параметров переменных резисторов при длительном хранении / М.П. Кабанченко, Т.В. Кириллова, А.И. Костржицкий. – Деп. в ЦНИИ Электроника 1982, №8095/82. – 24 с. / опубл. в МСР ВИМИ “Техника, технология, экономика”. – 1982. – №12. Серия Т”.

Кабанченко М.П. Получение многокомпонентных токопроводящих покрытий методом испарения конечных навесок в вакууме / М.П. Кабанченко, А.И. Костржицкий, И.Л. Ройх // Электронная техника. Сер. Материалы. – 1979. – Вып.6. – С. 117-124.

Кабанченко М.П. Применение вакуумных пленок сплавов на основе меди в электрических контактах / М.П. Кабанченко, Я.И. Лепих, А.И. Костржицкий // Техника средств связи. Сер. ТПО. – 1980. – №2. – С. 58-62.

Клебанов Ю.Д. Кинетика испарения сплава из одного источника с подпиткой / Физика и химия обраб. материалов. – 1978. – №4. – С. 64-69.

Клебанов Ю.Д. О кинетике испарения сплавов в вакууме / Ю.Д. Клебанов, Т.В. Привезенцева, В.Н. Сумароков // Физика и химия обраб. материалов. – 1977. – №3. – С. 50-54.

Коган В.С. Структура и электрические сопротивления конденсатов хрома, полученных в различных вакуумных условиях / В.С. Коган, Ю.Е. Семененко, А.П. Серюгин // Вопросы атомной науки и техники. Сер. Физика и техника высокого вакуума. – 1974. – №1. – С. 56-62.

Колкер Я.Д. Математический анализ точности механической обработки деталей. – К.: Техника, 1976. – 200 с. с илл.

Колотыркин Я.М. Фундаментальные проблемы коррозии и пути их решения. – В кн.: 12-й Менделеевский съезд по общей и прикл. химии”: реф. докл. и сообщ. – М.: Наука, 1981. – №3. – С. 276-277.

Коррозионная стойкость электроконтактных материалов на основе меди в агрессивных средах / Г.Н. Братерская, В.А. Лавренко, С.П. Кохановский, В.В. Коробский // Физико-хим. механика материалов. – 1993. – т.29, №2. – С. 56-60.

Коррозия: Справочник / Под ред. Л.Л. Шрайера; пер. с англ. под ред. В.С. Синявского. – М.: Металлургия, 1981. – 632 с.

Костржицкий А.И. Исследование медных и медно-цинковых вакуумных покрытий на стали: Автореф. дис… канд. техн. наук. – М.: МВМИ, 1978. – 28 с.

Костржицкий А.И. К вопросу о математическом моделировании процессов получения многокомпонентных конденсированных систем // Физика и технология тонких полупроводниковых пленок: Тез. докл. III-й Всесоюз. конф. – Ив.-Франковск, 1990. – С. 31.

Костржицкий А.И. Проблемы и перспективы применения многокомпонентных пленок в изделиях электронной техники // Физика и технология тонких полупроводниковых пленок: Тез. докл. III-й Всесоюз. конф. – Ив.-Франковск, 1990. – С. 12.

Костржицкий А.И. Способы получения и свойства коррозионно-стойких вакуумных многокомпонентных пленок и покрытий: Автореф. дис… докт. техн. наук. – М.: НИФХИ им. Л.Я. Карпова, 1988. – 37 с.

Костржицкий А.И. Формирование многокомпонентных вакуумных покрытий в установках барабанного типа при раздельном испарении компонентов // Физика и химия обраб. материалов. – 1987. – №1. – С. 99-103.

Костржицкий А.И. Закономерности формирования структуры железохромистых покрытий при ионном осаждении / А.И. Костржицкий, О.Ф. Гусарева // Изв. АН СССР. Сер. Металлы. – 1987. – №1. – С. 167-172.

Костржицкий А.И. Моделирование процесса формирования вакуумных пленок и покрытий на вращающихся подложках // А.И. Костржицкий, М.П. Кабанченко // Технология и конструирование электронной аппаратуры. – 1992. – №1. – С. 65.

Костржицкий А.И. Электрофизические свойства пленок, полученных вакуумным испарением сплавов медь-олово и их аналогов // А.И. Костржицкий, М.П. Кабанченко // Электронная техника. Сер. Материалы. – 1980. – Вып.7. – С. 3-7.

Костржицкий А.И. Анализ равномерности толщины покрытий при конденсации на плоских вращающихся подложках / А.И. Костржицкий, М.П. Кабанченко, Г.М. Редунов. – Киев, УкрНИИНТИ, 1989, №1644 – Ук89. – 38 с.

Костржицкий А.И. Многокомпонентные вакуумные покрытия / А.И. Костржицкий, О.В. Лебединский. – М.: Машиностроение, 1987. – 208 с.

Костржицкий А.И. Электрохимическое поведение покрытий, полученных методом ионного осаждения в вакууме / А.И. Костржицкий, О.В. Лебединский, И.Л. Ройх // Защита металлов. – 1979. – №3. – С. 343-345.

Костржицкий А.И. Проблемы использования сплавов меди взамен благородных металлов в тонкопленочных изделиях электронной техники / А.И. Костржицкий, Я.И. Лепих // Техника средств связи. Сер. ТПО. – 1981. – Вып.2. – С. 90-96.

Костржицкий А.И. Исследование вакуумных пленок сплавов на основе меди в системе “пленка – скользящий контакт” / А.И. Костржицкий, Я.И. Лепих, Ю.П. Тризна // Техника средств связи. Сер. ТПО. – 1980. – №3. –
С. 53-57.

Костржицкий А.И. Влияние состава сплавов меди на коррозионную стойкость конденсированных систем / А.И. Костржицкий, Е.В. Ляпина // ОДАХТ. Наукові праці. Вып.25. – Одесса, 2003. – С. 206-212.

Костржицкий А.И. Закономерности формирования структуры и фазового состава в конденсированных системах медь-олово и их аналогах / А.И. Костржицкий, Е.В. Ляпина // Электронная обраб. материалов. – 2004. – №5. – С. 13-15.

Костржицкий А.И. Исследование поверхностных пленок на медно-оловянных конденсатах в различных условиях эксплуатации / А.И. Костржицкий, Е.В. Ляпина // Электронная обраб. материалов. – 2003. – №5. – С. 22-26.

Костржицкий А.И. Коррозионно-электрохимические свойства конденсированных пленок сплавов меди / А.И. Костржицкий, Е.В. Ляпина // Физико-хим. механика материалов. – 2004. – №4. – С. 665-669.

Костржицький А.І. Особливості електродних процесів на поверхні конденсатів мідь-олово та їх аналогів у нейтральних середовищах / А.І. Костржицький, О.В. Ляпіна // Фізика і хімія твердого тіла. – 2004. – т.5, №3. – С.564-571.

Костржицкий А.И. Проблемы и перспективы использования тонкопленочных структур из малолегированных сплавов меди / А.И. Костржицкий, Е.В. Ляпина // Матеріали IХ Межн. конф. “Фізика і технологія тонких плівок”. – Ів.-Франківськ, 2003. – т.2. – С. 219-220.

Костржицкий А.И. Электрохимические свойства пленок сплавов высокой проводимости / А.И. Костржицкий, Е.В. Ляпина // Материалы III-й Межд. науч.-практ. конф. “Динамика науч. исслед.” – Днепропетровск, 2004. – т.63. – С. 24-25.

Костржицкий А.И. Коррозионно-стойкие конденсированные пленки сплавов меди / А.И. Костржицкий, Е.В. Ляпина, А.Д. Соколов // Материалы 23-й ежегод. межд. конф. “Композиционные материалы в пром-сти”. – Ялта, 2003. – С. 60-61.

Костржицкий А.И. Коррозионно-электрохимическое поведение конденсированных сплавов на основе меди / А.И. Костржицкий, Е.В. Ляпина, А.Д. Соколов // ОДАХТ. Наукові праці. Вип.26. – Одеса, 2003. – С. 261-269.

Костржицкий А.И. Об опыте использования конденсированных пленок сплавов высокой проводимости взамен благородных металлов / А.И. Костржицкий, Е.В. Ляпина, А.Д. Соколов // Материалы IV ежегод. Пром. конф. “Эффективность реализации науч., ресурсного и пром. потенциала в современных условиях”. – Славское, 2004. – С. 74-75.

Костржицкий А.И. Автоматизированный анализ закономерностей испарения и конденсации двойных металлических систем / А.И. Костржицкий, Г.М. Редунов. – К., 1985. – 22 с. – Деп. в УкрНИИНТИ 25.06.85, №1409. – ММ 85.

Костржицкий А.И. Автоматизированный анализ закономерностей формирования вакуумных покрытий из бинарных сплавов при раздельном испарении компонентов / А.И. Костржицкий, Г.М. Редунов. – К., 1986. – 37 с. – Деп. в УкрНИИНТИ 06.08.86, №1849 – ММ 86.

Костржицкий А.И. Алгоритмическое и программное обеспечение анализа, закономерностей испарения и конденсации сплавов с числом компонентов более двух / А.И. Костржицкий, Г.Н. Редунов, О.Н. Соловьева. – К., 1985. – 29с. – Деп. в УкрНИИНТИ 24.06.85, №1408 – ММ 85.

Костржицкий А.И. Методы испытания металлов и металлических покрытий на коррозионную стойкость / А.И. Костржицкий, А.Д. Соколов, М.П. Кабанченко. – М., 1989. – 67с. Деп. в ЦНИИТЭИ тракторсельмаш 1989, №1151 – ТС 89. Анот. опубл. в библиогр. справочнике – ВИНИТИ РАН “Депонированные научные работы” 1989, №9. – С. 144.

Лайнер Д.И. Активность компонентов в жидких сплавах Cu-Al / Д.И. Лайнер, Л.М. Островская, О.С. Серебрянникова // Изв. АН СССР. Сер. Металлы. – 1976. – №1. – С. 15-18.

Лахтин Ю.М. Металловедение и термическая обработка металлов. – М.: Металлургия, 1977. – 364 с.

Лепих Я.И. Сплавы на основе меди взамен серебра в контактных площадках / Я.И. Лепих, М.П. Кабанченко, А.И. Костржицкий // ЦНИИ Электроника, деп. №9779/ Реф. опубл. в “Сборник НИОКР обзоров, переводов и деп. рукописей”. Сер. РТ. – №21. – 1985.

Ляпина Е.В. Поведение конденсированных сплавов меди в растворе хлористого натрия с добавками Н2О2 / ОДАХТ. Наукові праці. Вип.27. – Одеса, 2004. – С. 305-308.

Ляпина Е.В. До питання щодо вологостійкості конденсованих систем мідь-олово і їх аналогів / О.В. Ляпіна, А.І. Костржицький // Фізика і хімія твердого тіла. – 2005. – т.6, №2. – С. 327-332.

Ляпина Е.В. Влияние состава сплавов меди на коррозионную стойкость конденсированных систем / Е.В. Ляпина, А.И. Костржицкий // ОДАХТ. Наукові праці. Вип.25. – Одеса, 2003. – С. 206-212.

Ляпіна О.В. Вплив термообробки на електрофізичні властивості конденсованих плівок сполук міді / О.В. Ляпіна, А.І. Костржицький // Фізика і хімія твердого тіла. – 2005. – т.6, №3. – С. 423-427.

Ляпіна О.В. До питання про одержання функціональних конденсаційних покрить прямим випаровуванням сполук у вакуумі / О.В. Ляпіна, А.І. Костржицький // Фізика і хімія твердого тіла. – 2005. – т.6, №1. – С. 161-164.

Ляпина Е.В. Коррозионно-электрохимические характеристики конденсированных пленок сплавов на основе меди / Е.В. Ляпина, А.И. Костржицкий // Современные проблемы материаловедения: Тез. докл. Откр. Всеукр. конф. молодых учёных науч. сотр. – Харьков, 2003. – С. 30.

Ляпина Е.В. Особенности электрохимического поведения конденсированных пленок сплавов медь-олово в кислый средах / Е.В. Ляпина, А.И. Костржицкий // ОНАХТ. Наукові праці. Вип.27. – Одеса, 2004. – С. 293-299.

Ляпіна О.В. Особливості електродних процесів на поверхні конденсатів мідь-олово та їх аналогів у нейтральних середовищах / О.В. Ляпіна, А.І. Костржицький // Фізика і хімія твердого тіла. – 2004. – т.5, №3. –С.564-570.

Ляпина Е.В. Применение конденсированных пленок сплавов высокой проводимости взамен благородных металлов / Е.В. Ляпина, А.И. Костржицкий // Материалы II Межд. науч.-практ. конф. “Динамика научных исследований 2003”. – Днепропетровск, 2003. – т.36. – С. 39-40.

Ляпина Е.В. Технология получения и свойства пленок сплавов меди в электрических контактах / Е.В. Ляпина, А.И. Костржицкий. – К., 2004. – 24 с. – Деп. в ГНТБ Украины 05.01.04, №20 – ММ 04.

Ляпина Е.В. Функциональные конденсированные пленки из сплавов высокой проводимости и их свойства / Е.В. Ляпина, А.И. Костржицкий. – К., 2003. – 16с. – Деп. в ГНТБ Украины 01.09.03, №40. – ММ 03.

Ляпина Е.В. Физико-химические аспекты технологии конденсированных пленок сплавов высокой проводимости / Е.В. Ляпина, А.И. Костржицкий, В.Г. Задорожный // Материалы V юбил. Пром. конф. “Эффективность реализации научн., ресурсного и пром. потенциала в современных условиях”. – Славское, 2005. – С.98-99.

Ляпина Е.В. К вопросу о влагостойкости конденсатов сплавов на основе меди / Е.В. Ляпина, Р.А. Подолян, А.И. Костржицкий Р.А. // Матеріали Ювіл. Х Межн. конф. “Фізика і технологія тонких плівок”. – Ів.-Франківськ, 2005. – т.2. – С. 158-159.

Ляпина Е.В. Методика исследования электрических свойств тонкопленочных конденсированных структур / Е.В. Ляпина, А.И. Костржицкий, Р.А. Подолян // Материалы VII Міжн. наук.-практ. конф. “Наука і освіта”. – Дніпропетровськ, 2004. – т.61. – С. 3-5.

Ляпина Е.В. Особенности структуры и фазового состава конденсированных структур медь-олово и их аналогов / Е.В. Ляпина, А.И. Костржицкий, А.Д. Соколов // Материалы V юбил. Пром. конф. “Эффективность реализации науч., ресурсного и пром. потенциала в современных условиях. – Славское, 2005. – С. 95-97.

Ляпина Е.В. Электрофизические свойства конденсационных пленок сплавов медь-олово в системе “пленка – скользящий контакт” / Е.В. Ляпина, А.И. Костржицкий, А.Д. Соколов // Проблемы техники. – 2004. – №4. – С.22-28.

Ляпина Е.В. Анализ коррозионной стойкости сплавов Cu-Sn по данным потенциодинамических исследований / Е.В. Ляпина, Р.А. Подолян, А.И. Костржицкий // Материалы VII Межд. науч.-практ. конф. “Наука і освіта”. – Днепропетровск, 2004. – т.61. – С. 5-7.

Ляпина Е.В. К вопросу об оценке влияния состава конденсированных пленок сплавов меди на их электрические свойства / Е.В. Ляпина, Р.А. Подолян, А.И. Костржицкий // Материалы I Межд. науч.-практ. конф. “Науковий потенціал світу 2004”. – Днепропетровск, 2004. – т.61. – С. 21-23.

Майссел Л.И. Тонкопленочные резисторы. – В кн.: Технология тонких пленок. – М.: Сов. радио, 1977. – т.2. – 768с.

Методика исследования окисления металлов / Н.А. Шкляревский, Л.А. Агеев, В.П. Костюк, И.Л. Рачинский // Физика твердого тела. – 1968. – т.10, №9. – С.3097-3100.

Миркин Л.И. Рентгеноструктурный анализ. Справочное руководство. Получение и измерение рентгенограмм. – М.: Наука, 1976. – 284с.

Миркин Л.И. Справочник по рентгеноструктурному анализу поликристаллов. – М.: Госиздат физ.-мат. лит., 1961. – 360с.

Мовчан Б.А. Электроннолучевая плавка и рафинирование металлов и сплавов / Б.А. Мовчан, А.Г. Тихоновский, Ю.А. Куранов. – К.: Наукова думка, 1973. – 239с.

Некоторые закономерности формирования пленок алюминия и их электрические свойства / В.П. Белевский, В.И. Иванов, В.М. Недоступ и др. // Физика и химия обраб. материалов. – 1968. – №3. – С.104-109.

Об окислении вакуумных конденсатов сплавов на основе меди / М.П. Кабанченко, А.И. Костржицкий, О.В. Лебединский, И.Л. Ройх // Металловедение и термодинамическая обраб. металлов. – 1980. – №3. – С.34-36.

О возможности замены благородных металлов в некоторых изделиях электронной техники / А.И. Костржицкий, М.П. Кабанченко, Г.М. Иванов и др. // Электронная техника. Сер. Материалы. – 1979. – №1. – С.3-6.

О свойствах проводящих элементов пленочных микросхем, полученных напылением алюминия, никеля, меди и сплавов на основе меди / М.В. Белоус, А.С. Косенков, Г.И. Павленко и др. // Электронная техника. Сер. Материалы. – 1971. – №1. – С.101-105.

Основы эллипсометрии / А.В. Ржанов, К.К. Свиташев, А.И. Семененко и др. – Новосибирск: Наука, 1979. – 420с.

Особенности импульсных испарителей для напыления пленок / В.Г. Днепровский, Б.А. Осадин, Н.В. Русаков и др. // Электронная техника. Сер. Микроэлектроника. – 1972. – №3. – С.62-70.

Особенности испарения и формирования покрытий из сплавов олово – свинец // И.Л. Ройх, С.Н. Федосов, А.И. Костржицкий и др. // Электронная техника. Сер. Материалы. – 1974. – №12. – С.15-18.

Особенности кинетики анодного растворения в хлористых растворах меди и золото-медных сплавов / А.Ш. Заядуллаев, А.Ж. Медведев, А.И. Маслий, Р.Ю. Бек // Физ. химия и электрохимия редк. и цв. мет.: Тез. докл. 7 кол. семин. / РАН Кол. науч. центр. – Апатиты, 1992. – С.42-43.

Особенности получения сплавов системы Cu-Al методом конденсации в вакууме / Д.И. Лайнер, А.С. Бай, Л.М. Островская и др. // Сб. науч. тр. / Гипроцветметобработка. Вып. 39. – М., 1973. – С.44-48.

Пазухин В.А. Разделение и рафинирование металлов в вакууме / В.А. Пазухин, А.Я. Фишер. – М.: Металлургия, 1969. – 208с.

Палатник Л.С. К вопросу о механизме конденсации металлов в вакууме / Л.С. Палатник, Ю.Ф. Комник // Доклады АН СССР. – 1959. – т.124, №4. – С.808-811.

Палатник Л.С. Изучение закономерностей испарения сплавов / Л.С. Палатник, Г.Ф. Федоров, П.Н. Богатов // Физика металлов и металловедение. – 1966. – т.21, №3. – С. 409-413.

Палатник Л.С. Исследование процессов испарения и объемной конденсации сплавов / Л.С. Палатник, Г.В. Федоров, П.Н. Богатов // Доклады АН СССР. – 1964. – т.158, №3. – С. 586-590.

Палатник Л.С. О характере испарения и конденсации сплавов олово – свинец / Л.С. Палатник, Г.В. Федоров, П.Н. Богатов // Физика металлов и металловедение. – 1966. – т.21, №5. – С. 704-709.

Палатник Л.С. Механизм образования и субструктура конденсированных пленок / Л.С. Палатник, М.Я. Фукс, В.М. Косевич. – М.: Наука, 1972. – 320с.

Попов В.И. Закономерности формирования структуры и свойств пленок, полученных вакуумным испарением сплавов меди // Физика металлов и металловедение. – 1974. – №3. – С. 560-564.

Попов В.И. О связи рельефа поверхности пленок металлов и сплавов с их зернистой структурой // Физика и химия обраб. материалов. – 1975. – №1. – С.51-53.

Попов В.И. Фракционирующие сплавы на основе меди и технология изготовления гибридно-пленочных микросхем // Электронная техника. Сер. Микроэлектроника. – 1973. – №1. – С.72-75.

Ржанов А.В. Эллипсометрические методы контроля в микроэлектронике / А.В. Ржанов, К.К. Свиташев, А.И. Семененко // Микроэлектроника. – 1975. – т.4, №1. – С.3-23.

Розенфельд И.Л. Ускоренные методы коррозионных испытаний металлов / И.Л. Розенфельд, К.А. Жигалова. – М.: Машиностроение, 1966. – 220с.

Ройх И.Л. Защитные вакуумные покрытия на стали / И.Л. Ройх, Л.Н. Колтунова. – М.: Машиностроение, 1971. – 280с.

Ройх И.Л. Нанесение защитных покрытий в вакууме / И.Л. Ройх, Л.Н. Колтунова, С.Н. Федосов. – М.: Машиностроение, 1975. – 358с.

Ройх И.Л. Получение покрытий из сплавов в вакууме / И.Л. Ройх, А.И. Костржицкий, С.Н. Федосов / Электронная техника. Сер. Технология и орг. пр-ва и оборуд. – 1975. – №6. – С.51-60.

Ройх И.Л. Применение метода испарения и конденсации в вакууме для получения новых защитно-декоративных покрытий из сплавов / И.Л. Ройх, С.Н. Федосов, А.И. Костржицкий // Материалы науч.-техн. семинара “Современные защитно-декор. покрытия металлов”. – М., 1974. – С.156-159.

Россинский В.А. Исследование процесса термического испарения в вакууме многокомпонентных сплавов / В.А. Россинский, Т.И. Самохвалова, Л.Т. Прокофьева // Электронная техника. Сер. Технология и орг. пр-ва. – 1971. – №2. – С.71-75.

Рыбин Б.С. Процессы диффузии и теплопроводности в вакуумных конденсатах / Б.С. Рыбин, И.Л. Ройх // Физика металлов и металловедение. – 1970. – т.30, №2. – С.276-280.

Соколов А.Д. Исследование адгезии и защитных свойств вакуумных хромовых покрытий на салумине, чугуне и стали: Автореф. дис… канд. техн. наук. – Одесса, 1974. – 26 с.

Соколов А.Д. Структура и защитные свойства ионно-плазменных покрытий из сплавов хрома на стали / А.Д. Соколов, А.И. Костржицкий // Материалы IХ Межд. коф. “Физика и технология тонких пленок”. – Ив.-Франковск, 2003. – т.2. – С. 228-229.

Соловьева О.Н. Технология нанесения вакуумных пленок на неподогреваемые подложки: Автореф. дис… канд. техн. наук. – Киев, 1987. – 24 с.

Соловьева О.Н. Адгезионное взаимодействие в системе “металл – окисел” при конденсации на неподогреваемые подложки / О.Н. Соловьева, А.И. Костржицкий // Материалы IV науч.-техн. конф. “Вакуумные покрытия – 87”. – Рига, 1987. – ч.II. – С.35-38.

Соловьева О.Н. Об адсорбционной и адгезионной активности поверхности оксида, модифицированной в тлеющем разряде / О.Н. Соловьева, А.И. Костржицкий // Физика и химия обраб. материалов. – 1990. – №2. – С. 60-64.

Справочник оператора установок по нанесению покрытий в вакууме / А.И. Костржицкий, В.Ф. Карпов, М.П. Кабанченко, О.Н. Соловьева. – М.: Машиностроение, 1991. – 174с.

Технология изготовления пассивных элементов микросхем с высокой проводимостью путем вакуумного напыления сплавов на основе меди / М.В. Белоус, А.М. Корольков, А.С. Косенков и др. // Электронная техника. Сер.10. – 1971. – №3. – С.18-24.

Толкачев С.С. Таблицы межплоскостных расстояний. – Л.: Химия, 1968. – 426с.

Урьяш Ф.В. Динамика примеси при испарении металлов в испарителе непрерывного действия // Электронная техника. Сер. Технология, орг. пр-ва и оборуд. – 1973. – №6. – С. 9-12.

Физико-химические свойства тонких пленок, напыленных на неметаллическую основу. IV. Начальное сопротивление пленок алюминия / Л.К. Лепинь, В.М. Кадек, Ю.Н. Соколов и др. // Изв. АН Латв. ССР. Сер. Хим. – 1976. – №5. – С. 574-580.

Фракционирование бинарных сплавов при испарении из одного тигля / И.Л. Ройх, А.И. Костржицкий, С.А. Приббе, С.Н. Федосов // Физика и химия обраб. материалов. – 1976. – №3. – С. 50-53.

Харинский А.П. Основы конструирования радиоаппаратуры. – М.: Энергия, 1971. – 358с.

Холлэнд Л. Нанесение тонких пленок в вакууме. – М.: Госэнергоиздат, 1963. – 608с.

Чеботарева Н.П. Особенности коррозионного поведения меди в сульфатных средах, содержащих азотную кислоту / Н.П. Чеботарева, А.И. Маршаков, Ю.Н. Михайловский // Защита металлов. – 1993. – т.29, №6. – С. 900-905.

Черепнин Н.В. Сорбционные явления в вакуумной технике. – М.: Машиностроение, 1975. – 278с.

Чистяков Ю.Д. Физико-химические основы технологии микроэлектроники / Ю.Д. Чистяков, Ю.П. Райнова. – М., 1980. – 386с.

Шишаков Н.А. Строение и механизм образования оксидных пленок на металлах / Н.А. Шишаков, В.В. Андреева, Н.К. Андрущенко. – М., 1959. – 322с.

Электрофизические параметры вакуумно-конденсированных резистивных элементов на основе некоторых сплавов системы медь – марганец – титан / Н.Р. Бочвар, Е.В. Лысова, В.И. Попов, А.А. Попова // Известия вузов. Сер. Радиоэлектроника. – 1977. – т.20, №1. – С. 76-78.

Электрохимическое поведение конденсированных пленок сплавов медь – олово в щелочных средах / А.И. Костржицкий, Е.В. Ляпина, Р.А. Подолян, А.Д. Соколов // Проблеми техніки. – 2004. – №1. – С.78-87.

Электрофизические свойства конденсатов некоторых сплавов медь – марганец – никель, полученных методами вакуумной технологии / Н.Р. Бочвар, Е.В. Лысова, В.И. Попов, А.А. Попова // Известия вузов. Сер. Физика. – 1976. деп. №2444-76.

Электрофизические свойства пленок, полученных вакуумным испарением сплавов системы медь – марганец / В.И. Попов, Н.Р. Бочвар, Е.В. Лысова и др. // Металловедение и термическая обраб. металлов. – 1976. – №7. –С.63-65.

Augis J.A. Sputter deposition of a metastable equiatomatic tin-nickel alloy / Augis J.A., Bennwet J.E. // Journ. electrochem. Soc. – 1977. – v.124, №9. – Р. 1455-1458.

Characterisation of passive film on copper / Sathiyanarayanan S., Manoharan S.P., rajagopal G., Balakrishnan K. // 6th Int. Symp. Passivity: Passivat. Metals and Semicond., Sapporo, 1989. – P.3-15.

Cnan E.C. Ellipsometric study of Ni-surfaces / Cnan E.C., Marton J.P. // J. Appl. Phys. – 1972. – v.43, №4. – Р.1681-1684.

Corrosion, passivation et protection du cuivre en solutions aqueuses T. Mecanisme cyclique de la corrosion / Le Gal La Salle A., Jardy A., Rosset R. at all // Mem. et Etud. Sci. Rev. Met. – 1992. – v.89, №3. – P.171-182.

Crousier J. Behaviour of Cu-Ni alloys in natural sea water and NaCl solution / Crousier J., Beccaria A. / Werkst. und Korros. – 1990. – v.41, №4. – P.185-189.

Crousier J. Corrosion behaviour of a series of Cu-Ni binary alloys in slightly alkaline solution containing Cl– / Crousier J., Beccaria a. // 11th Int. Corros. Congr. Innov. and Technol. Transfer Corros. Contr. – Florence, 1990. – v.4. – P.319-324.

Dale E.B. Theory of steady-state evaporation of alloys // Journ. Appl. Phys. – 1970. – №1. – P. 3697-3701.

Decany I. Failure mechanisms of electrical contacts surfaces / Decany I., Kormany T. // «Proc. ATFA. — 77, Los-Angeles, Calif., 1977», New York, N.Y., 1977. — P.159-169.

Electrochemical behaviour of rapidly solidified and conventionally cast Cu-Ni-Sn alloys / Deyong L., Elboujdaini M., Themblay R., Ghali e. // Appl. Electrochem. – 1990. – v.20, №5. – P. 756-762.

Foster J.S. Vacuum deposition of alloys: theoretical and practical cosiderations / Foster J.S., Pfeifer W.H. // Journ. Vac. Sci. technol. – 1972. – v.9, №6. – P. 1379-1384.

Hughes J.L., Making alloys foils by electron beam evaporation // Metals Eng. Quaterly. – 1974. – v.14, №1. – P. 1-12.

Kostrjitskiy A.I. Electrochemical behaviour of low-doped copper alloys films / Kostrjitskiy A.I., Lyapina E.V. // Proc. of 8-th Int. Symp. on Electrochemical Methods in Corrosion Recearch. – Belgium, Brussel, 2004. – P. 284.

Kostrjitskiy A.I. The preparation and properties of thin copper alloys film / Kostrjitskiy A.I.. Lyapina E.V., Sokolov A.D. // Proc. Int. Conf. on Non-Crystalline Inorganic Materials “CONCIM-2003”. – Germany, Bonn, 2003. – P. 133.

Lewis C.W. Condensation and evaporation of solids / Lewis C.W., Schick M.I. // Rutner et al eds. – New York, 1962. – P. 131.

Long T.R. Palladium alloys for electrical contacts // Paper presented at the annual Holm seminar «Platinum metal Rev». – 1976. – v.20, №2. — P.46-47.

Lyapina E.V. Corrosion-electrochemical properties of copper alloys in neutral solution / Lyapina E.V., Kostrjitskiy A.I., Tishchenko V.N. // Proc. of 8-th Int. Symp. on Electrochemical Methods in Corrosion Research.-Belgium, Brussel. – 2003. – P.285.

Mattsson Einar. Ammonia test for stress corrosion resistance of copper alloys // Mattsson Einar, Holm Rolf, Hassel Lars // Use Synth. Environ. Corros. Test.: Symp. Teddington, 1986. – Philadelphia (Pa), 1988. – P. 152-164.

Milosev I. Kinetics and mechanism of Cu-Ni alloys corrosion in the presence of Cl ions / Milosev I., Metikos-Hukovic // 11th Int. Corros. Congr.: Innov. and Technol. Transfer Corros., Contr., Horence, 2-6 Apr., 1990. – v.3 / Assoc. Ital. Meet. – Milano, [1990]. – P. 523-530.

Mechanism of corrosion in Al-Si-Cu / Hayasaka Nobuo, Koga Yuri, Shimomura Koji at all // Toshiba Selec. Pap. Sci. and Technol. – 1992. – v.4, №1. – P. 97-101.

Politicki A. Structure and electrical properties of thin film resistor materials / Politicki A., Heiber K. // Siemens Forshungs und Entwicklьgsber. – 1974. – v.3, №4. — P. 248-254.

Popplewell J.M. Stress corrosion resistance of some base alloys in natural atmospheres / Popplewell J.M., Gearing T.V. // Corrosion 5 (USA). – 1975. – v.31, №8. — P.279-286.

Potentiodynamic behaviour of Cu-Al-Ag alloys i NaOH: A comparative study related to the pure metals electrochemistry / Benedetti A.V., Nakazato R.Z., Sumodjo P.T. at all // Electrochim acta. – 1991. – v.36, №9. – P.1409-1421.

Rogers B.R. Localized Corrosion of aluminum – 1,5% copper thin films exposed to photoresist developing solutions / Rogers B.R., Wilson S.R., Cale T.S. // 37th Nat. Symp. Amer. Vac. Soc., Toronto, 8-12 Oct., 1990 / Pt.2. J. Vac. Sci. and Technol. A. – 1991. – v.9, №3. – Pt.2. – P.1616-1621.

Santala T. Kinetics and thermodynamics in continiuos electron-beam evaporation of binary alloys / Santala T., Adams C.M. // Journ. Vac. Sci. Technol. – 1970. – vol.7. – №6. – P. 522-529.

Sato Mitsonuri. Infpluence of oxides on material transfer behaviour of silver base contacts, containing various metal oxides / Sato Mitsonuri, Hijikata Masayuki // Trans Jap Inst Metals, 1974 – v.15, №6. — P.399-407.

Shibad P.R. Corrosion film formed on copper and copper base alloys in salt water / Shibad P.R., Singh P.R., Gadiyar H.S. // J. Electrochem. Soc. India. – 1989. – v.38, №3. – P. 306-309.

Scnults L.S. The optical properties of Ag, Au, Cu and Al // J. Opt. Appl… – 1954. – v.44, №5. – P. 357-359.

Som C.S. The range of applicability of the exact first order ellipsometric calculation / Som C.S., Choudnury C.N. / Nouv. Rev. Opt. Appl. – 1972. – №2. – P. 389-394.

Sterling A. Accelerated atmospheric corrosion of copper and copper alloys / Sterling A., Atrens A., Smith T.O. // Brit. Corros. J. – 1990. – v.25, №4. – P. 271-278.

Swift R.A. Fractionation of Ni-Cr-Cu-Al alloys during vacuum evaporation / Swift R.A. Noval B.A., Merz K.M. // Journ. Vac. Sci. Technol. 2. – 1968, vol.5. – №3. – P.79-83.

The evaluation of the technology for depositing NiCr resistivity film / Tavses R., Kansky E. et al // Thin Solid Films. – 1976. – v.36, № 2. — P.279-282.

Terada K.C. Vacuum deposition of tin-selenium film / Journ. Vac. Phys. D.: Appl. Phys. – 1974. – vol.4, № 12. – P.1991-1997.

Tseng P. Electrical resistivity of copper – 5 wt. % tin / Tseng P., Tangri K. // Scripta Metallurgica, Pergamon Press. – 1976. – v.10, № 10. — P.933-936.

Van de Leest R.E. Aluminium-implanted copper and sputtered copper alloys as electrical contact materials / Eur. Res. mater., Substitut. Proc. Final Contr. Meet., Brussels, 9-11 Dec., 1986. – London; New Yourk, 1988. – P. 125-132.

Wagner S. Activities in dilute solution of chromium and iron in nickel at 1600C by mass spectro metry / Wagner S., Shade D.J., Pierre G.R. // Metallurg. Trans. – 1972. – №3. – P.47-53.

Whitely J.H. Rational selection of alternate materials for electrical connector contacts // Proc 24 th Electronic Components Conference. – Washington DC, May, 1974.

Wilder T.C. The thermodynamic properties of liquid aluminium-copper system // Trans AIME2. – 1965, vol.233. – P.1202.

Wojtas H. Corrosion and electrochemical characterization of rapidly solidified Cu-B, Cu-Al-B, Cu-Cr-Zn alloys / Wojtas H., Bachni H. // Mater. Sci and Eng. A. – 1991. – v.134. – P. 1065-1069.

Zinsmeister G. The direct evaporation of alloys // Vakuum-Tech. – 1964. – №8. – P.233-240.

Ляпина Е.В. Физико-химические основы процесса получения конденсационных многокомпонентных покрытий прямым испарением сплавов в вакууме / Е.В. Ляпина, А.И. Костржицкий. – К., 2004. – 34с. – Деп. в ГНТБ Украины 11.10.04, №66 – ММ 04.

Зміст

Вступ

1. Загальна частина

1.1 Призначення і коротка характеристика підприємства цеху

1.2 Технічна характеристика обладнання

1.3 Відомість споживачів електричної енергії

2. Розрахункова частина

2.1 Розрахунок освітлення

2.1.1 Вибір системи освітлення, типу і кількості світильників

2.1.2 Перевірка освітлення цеху точковим методом

2.1.3 Розрахунок освітлення в допоміжних приміщеннях

2.1.4 Розрахунок мережі освітлення

2.2 Розрахунок і вибір електроприводу технологічної установки

2.2.1 Розрахунок потужності і вибір типу електропривода

2.2.2 Перевірка потужності електродвигуна за пусковим моментом

2.2.3 Побудова механічної характеристики

2.2.4 Вибір пускової і захисної апаратури

2.2.5 Розробка принципіальної схеми управління електроприводом

2.3 Розрахунок і вибір струмопроводів, силових пунктів,

потужності цеху

2.4 Монтаж і експлуатація електроустаткування цеху

2.6 Заходи з енергозбереження

2.7 Заходи з охорони праці, техніки безпеки та екології

Висновки

Вступ

Енергетична галузь господарства держави завжди звертала на себе певну увагу. Через брак паливних ресурсів, підприємства удосконалюють свої енергозберігаючі установки. Таким чино відбувається і розвиток самого підприємства.

Механізація і автоматизація виробничих процесів, що являються головними умовами високої продуктивності праці на нових підприємствах і після реконструкції, технічно ускладнили електроустаткування що застосовується, збільшили енергоємність виробництва, вимагають підвищення якості і надійності роботи змонтованого електроустаткування. Автоматизацію промислових і технологічних процесів неможливо уявити без широкого застосування електронних, напівпровідникових і іонних приладів для контролю, регулюванню і управлінню заданими процесами. Бурхливий розвиток електронно-обчислювальної техніки дозволяє не тільки підняти на новий рівень роботу автоматичних і телемеханічних пристроїв, але й вирішити економічні питання важливого народно господарчого значення.

Для підвищення експлуатаційної надійності необхідно поглиблювати знання обслуговуючого персоналу щодо вивчення конструктивних особливостей, технічних. характеристик, виконання і використання кожної електроустановки, режимів роботи та параметрів навколишнього середовища, їх впливу на роботу електрообладнання та ін.

Електрогосподарство країни поповнилася новими видами електрообладнання: електродвигунами серії 4АМ, автоматичними вимикачами ВА5І та ВА52, магнітними пускачами ПМЛ, тиристорними пускачами тощо. Для їх успішного використання не досить знань, одержаних працівниками навіть декілька років тому. Сучасний рівень електротехніки потребує від електриків постійного підвищення кваліфікації.

1. Загальна частина

1.1 Характеристика підприємства

ВАТ ‹‹Чернігівавтодеталь›› − самостійне машинобудівне підприємство по виробництву вузлів та деталей до автомобілів ‹‹ГАЗ››. ‹‹УАЗ››. ‹‹ЗІЛ››.‹‹МАЗ››.‹‹КАМАЗ››. автобусів ‹‹ПАЗ››.‹‹ЛІАЗ››. тракторів ‹‹МТЗ››. сільськогосподарської техніки. а також карданних валів до трамваїв. тролейбусів. залізничного транспорту і ремонту карданних валів автомобілів вітчизняного і зарубіжного виробництва.

Приймаючи сітку колон в 12х24м приймається стандартне приміщення з сторонами: А=90м, В=66м

S=90х66=5940м

Розміри всього цеху будуть: 90х66х12м.

Висота прийнято з врахуванням установки в цеху мостових кранів.

Особливості будівельної частини – каркас залізобетонний, з сіткою колон 12х24м, зовнішні пристінні колони, через 12м, для підсилення міцності каркасу. Стіні і перегородки цегляні. По верхах колон закріплені з/б балки, по яких проложені з/б плити, утепленні по плитах керамзит скріплений бітумом. На горищі, на плитах установлені витяжні вентилятори.

Кріплення плит,колон і балок між собою за допомогою зварки закладних деталей.

Підлога цеху бетонна, під верстат змонтовані з/бетонні фундаменту. При будівництві в підлозі залишають канали для прокладки кабелів і трубних проводок згідно проекту.

Мікроклімат – тобто волого–температурний режим підтримується припливно-витяжкою вентиляцією, обігрів – батарей, що живляться в зимовий період горячою водою в ТЕЦ.

1.2 Технічна характеристика

На території підприємства розміщаються цехи які мають різні категорії безпеки та умови середовища. Одним з цехів підприємства є ремонтно-механічний цех. Умови середовища даного цеху є хімічно активне, так як там деталі обмиваються рідиною яка потім збігає в підвал і викачується по каналізації. В ньому знаходяться метало ріжучі та метало оброблювальні верстати. В цеху знаходиться обладнання яке не є сучасним. Призначення цеху полягає у виготовленні продукції для експорту та продажу в нашій країні, для забезпечення власного виробництва. а також виготовлення спеціалізованої продукції(карданні вали.).

Освітлення цеху виконано світильниками РСП 16 з лампами типу ДРЛ-700. Вентиляція приміщення здійснюється за допомогою вентиляторів зв’язаних з вентиляційною системою цеха. Цех знаходиться в забрудженому середовищі частково пов’язане з виробничими відходами. Відходи виробництва це металева стружка, по конвеєрам з підвального приміщення подаються до пресів які пресують стружку в брикети які потім краном виносять з цеху і грузять на машини, які везуть її на повторну переробку. В цеху знаходяться різні апарати, різні по своїй дії і виробництву.

1.3 Відомість споживачів електричної енергії

2. Розрахункова частина

2.1 Розрахунок освітлення

Достатнє освітлення виробничих приміщень дає змогу працювати в них цілодобово,що сприяє підвищенню продуктивності праці та поліпшення якості виконуваних операцій. В виробничих цехах електричне освітлення поділяють на аварійне, чергове та робоче.

Під час роботи в цеху вмикають робоче освітлення, коли роботи не проводяться, більшість ламп (80-85% усього числа) вимикають, замикаючи ввімкненими тільки частину ламп, які забезпечують чергове освітлення. Приміщенні, де відсутність освітлення може привести до порушення технологічного процесу або до нещасних випадків, крім основного освітлення застосовують аварійне. Воно повинно створювати щонайменше 10% освітленості, встановленої для загального робочого освітлення.

Для забезпечення нормальних умов роботи робочого персоналу на технологічному обладнанні необхідно забезпечити нормальне освітлення в приміщенні. Для цього необхідно здійснити світлотехнічний розрахунок. Для проектування і розрахунку електричного освітлення необхідно мати плани і розміри приміщення з розстановкою в ньому технологічного обладнання. характеру технологічного процесу, обладнання і окремих виробничих приміщень. розміри мінімального розрізнення деталей, коефіцієнту відображення. характеру джерела постачання. системи і виду освітлення

2.1.1 Вибір виду та системи освітлення, типу і кількості світильників

Що правильно зробити розрахунки цеху нам потрібно провести розрахунки які допоможуть нам правильно вибрати світильники і лампи. Так як в цеху знаходиться різна апаратура то вибирається комбіноване освітлення так як на різних верстатах виконуються роботи різної точності, при малій площі робочих місць і великій загальній площі.

Раціональним вважається освітлення, яке при мінімальних витратах електричної енергії забезпечує продуктивну, високоякісну і безпечну роботу. Тому згідно галузевих норм приймається освітленість загального освітлення 200лк, місцевого від виду робіт, найбільше 750лк. Тому загальне комбіноване буде 950лк.

Визначаємо розрахункову висоту приміщення виходячи з того, що висота верстатів 1,2м, а висота підвісу світильника 2м.

Висота приміщення 12м.

Відстань між світильниками:

Приймається =9м

Визначаємо кількість рядів світильників:

Кількість світильників в ряду:

Загальна кількість світильників

N=10·8=80шт

Індекс приміщення:

По [табл. 3-1 лаб 4] при коефіцієнтах відображення с=50%, с=30%, с=10% для лампи ДРЛ і індекс приміщення =4, знаходимо коефіцієнт відображення світлового потоку; з=0,69

Розрахунковий світловий потік одного світильника:

Приймається ланка ДРЛ-700 з світовим потоком

Fл=39000лм

Фактичне освітлення:

1,2Ен=240>Еф=206,4>0,9Ен=180лк

2.1.2 Перевірка освітлення точковим методом

Основним показником розрахунку точковим методом являються графіки або таблиці, які дозволяють визначити освітленість любої точки поверхні. Для визначення фактичної освітленості робочої поверхні користуються формулою:

Точковий метод дає самі точні результати, але великі по об’єму. тому розроблені допоміжні таблиці. умовної освітленості для окремих світильників. залежності від розрахункової висоти і від віддалі проекції світильника на горизонтальну площину до контрольної точки.

Визначаємо ці дані і заносимо в таблицю. Для полегшення розрахунків накреслимо в масштабі схему розташування світильників, і нанесемо точку А.

Відстані d1 і d2 – визначаємо по формулі Піфагора.

Дані заносимо в таблицю

Таблиця 2.1

Дійсну освітленість в точці А визначаємо по формулі:

2.1.3 Розрахунок місцевого освітлення

Розрахунок освітлення в інших приміщеннях ведемо методом коефіцієнту питомої потужності. При цьому методі приймають, виходячи із дослідних даних, що для створення середньої освітленості в 100 лк на кожний квадратний метр площі потрібна питома потужність 16-20Вт/м2 при

освітлені лампами розжарення і 6-10 Вт/м2 при люмінесцентних лампах; при нормованій освітленості наприклад в 200лк, ці показники збільшуються пропорційно, тобто в 2рази, і навпаки.

Потужність освітлювальної установки розраховується по формулі:

Р= с·S, Вт

задаючись числом світильників визначаємо потужність одного, і приймаємо відповідну лампу.

Але сам розрахунок проводити не будемо так як на підприємстві у допоміжних приміщеннях немає стелі і освітлення проводиться з самого цеху.

2.1.4 Розрахунок мережі освітлення

Розрахунок мережі освітлення зводиться до вибору марки і перерізу проводів і кабелів, згідно їх схеми прокладки. Марка проводів залежить від способу прокладки і оточуючого середовища їх переріз визначаються від допустимих втрат напруги, яка складає для внутрішніх електропроводок освітлення не більше 2,5%.

Для розрахунку креслимо структурну схему ел. постачання світильників.

Момент ліній від ТП до групових ліній.

М=160∙56+(2∙(14∙68+14∙98))+(4∙(3,5∙58+3,5∙53+3,5∙53+3,5∙58))=16800

кВт∙м.

Переріз магістрального кабелю від ТП до СП, визначаться по формулі.

;

мм2

Приймається кабель АСБ мм2. Прокладка кабелю – траншейна.

Дійсні втрати напруги на ділянках ТЛ-СГ.

;

%

Допустима втрата напруги для ділянок, що залишились:

%

Момент навантаження на ньому:

М=1020+(220+180+140)=1560 кВт м

Переріз кабелю ЩО-2 визначається по формулі.

мм2.

Приймаємо кабель АВВГ мм2.

Дійсна втрата напруги на на цьому кабелі.

%

Допустима втрата напруги для групових ліній:

%

Переріз кабелів для групових ліній:

мм2

Приймається кабель АВРГ мм2. В якості щитків освітлення приймаються щитки типу ПР-24 з автоматичним вимикачем типу АЕ2020.

2.2 Розрахунок та вибір електроприводу енергетичного та технологічного механізму

Для правильного вибору електродвигуна потрібно порівняти параметри навколишнього середовища та конкретні умови роботи двигуна з його технічними даними з метою забезпечення надійної роботи електроприводу протягом установленого часу. Вибір електродвигуна за потужністю та частотою обертання допустимий лише на стадії попередніх розробок. Верстати що працюють в цехах малосерійного виробництва до них відносяться і ремонтно-механічні цехи, зазвичай мають тривалий режим роботи і оснащуються асинхронними двигунами з к.з. ротором.

2.2.1 Вибір типу та розрахунок потужності двигуна

Розрахунок проведемо для мостового крану, на якому можно проводити різноманітні операції. Основний двигун, як і допоміжні асинхронні з к.з. ротором, типу МТН. Для мостового крану:

Gt=10т

Go=20т

v=90 м/сек

D=0,8 m

N=705 об/хв.

=525

Tt=9,53*787,5(90/570)=24,6

R=G/(G+Gr)

R=20000/(20000+10000)=0,66

Mo==21,3

Потужність двигуна

Приймається головний двигун серії MTH потужністю 15кВт, на 705об/хв.

Дані двигуна заносимо в таблицю

Таблиця 2.3

2.2.2 Перевірка двигуна по пусковому моменту

Номінальний момент

де

Статичний момент на валу двигуна

Максимальний момент

Пусковий момент

Значення середнього пускового моменту

Мср.н = 0,45(Мм+Мн)

Мср.н = 0,45(59,62+54,2)=51,22 Нм

Середнє значення моментам інерції електроприводу

Уj = C·j+0,3j кн·м2

де с = 1,2 коефіцієнт який враховує момент інерції двигуна

Уj = 1,2·11·10-3+0,3·11·10-3= 0,0165 = 16,5·10-3 кг·мм2

Прискорення двигуна при пуску

Час пуску двигуна

де n = 750 об/хв.

Динамічний момент двигуна

Необхідний пусковий момент

Мн.б.n. = Мс+Мg

Мн.б.n.= 24,35+26,56 = 50,9Нм

Так як середньо-пусковий момент більший від потрібного моменту для запуску електроприводу

Мср.n = 51,22> Мпотр = 50,9Нм

то двигун підходить по пусковому моменту.

2.2.3 Побудова механічної характеристики

Поправочний коефіцієнт

Допоміжний коефіцієнт, А

Номінальне ковзання двигуна

Критичне ковзання

Допоміжний параметр, q

Задаючись значенням ковзання S від 0 до 1 та швидкістю обертання валу двигуна в межах від 750 до 0 по формулі Клосса визначаємо момента М для побудови механічної характеристики. Результати розрахунку заносимо до таблиці.

Таблиця 2.4

Рис. Механічна характеристика

2.3 Вибір пускової та захисної апаратури для даного верстату (машини, установки і т.д.)

До складу електроустаткування крана входять: електродвигуни, пускорегулююча та захисна апаратура, кінцеві вимикачі, гнучкий струмопровід для надання енергії механізму підйому вантажів і пересування тальки, нульовий захист. На крані встановлюються обладнання безпеки, такі як нульовий захист і кінцевий вимикачі.

Двигуни марки Мтн411-8, Мтн 311-8, Мтн 411-6 на потужність 15 кВт,

7.5 кВт, 10 кВт.

Кінцевики марки КУ 701 на струм 10 А.

Пускові кнопки SB типу КУ120

Реле теплове КК1-КК2- типу РТЛ-2061 – О4

КМ1. КМ2- магнітні пускачі типу ПМЕ — 211, Uн=127В;

Запобіжники по типу ПН-2-150 з номінальним струмом вставки 80 А.

Автоматичний вимикач марки АЕ2050М з номінальним струмом автомата Ін.а=60А

Інша апаратура встановлюється в електрошафах

2.4 Розробка принципіальної електричної схеми даного верстату (машини, установки і т. д.)

При затисканні кнопки SB1 відбувається замкнення кола першого двигуна який відповідає за пересування крана по рейкам, при цьому подається напруга на KL який замикає свій контакт в колі пускової кнопки сб2 для того щоб не відбулось замкнення. В колі пускової кнопки SB3 при натисканні її також заживлюється магнітне реле яке розмикає свій контакт в колі кнопки SB4 і не дає закоротить мережу також на колі кнопки SB3 і SB4 знаходяться кінцевики які не дають двигуну впертись в край стінки і зламатись. Такимже чином дія відбувається і в третьому та четвертому колі кнопок SB5 і SB6.

2.3 Вибір струмопроводів, силових розподільчих пунктів, навантаження цеху

Проводи і кабелі вибирають по способу прокладки, номінальній напрузі тривало допустимому струму. Розрахунковий струм навантаження для одного або групи електроспоживачів включно до трьох розраховується як сума струмів (номінальних) цих споживачів.

При числі споживачів більше трьох розрахунковий струм розраховується методом коефіцієнту косинусу. По розрахунковому струму і приймається відповідний переріз проводу чи кабелю з врахуванням коефіцієнтів прокладки і захисту.

Спосіб прокладки в ремонтно-механічному цеху приймається проводом ААВ в трубах від силового розподільчого щита до метало ріжучих верстатів.

Наприклад, до токарного верстату під № 1, який має 1 ел. двигун потужністю 5,5кВт планується подавати живлення 4-ма проводами в одній металевій трубі яка занурюється в бетонний пол.

Номінальний струм цього двигуна:

Пусковий струм

Так, як даний ряд запобіжників повинен захищати не тільки двигун, а і живлячі проводи, то ізоляція цих проводі повинна витримувати стум в 32,2А. тому вибирається провід АПВ 4(1х10) мм2 допустимо-тривалий струм якого Іт. доп = 39А. запобіжники в СП-62 на даній лінії вибирається типу НПН2-60 з плавкою вставкою на 35А. Для живлення верстату що має більше трьох двигунів розрахунок потужності (а відповідно і розрахунковий струм) визначається по коефіцієнту максимуму.

Наприклад: токарно-гвинторізний верстат має два двигуни по 11 кВт на 750об/хв., один двигун на 0,5кВт .

Установлена потужність двигунів: Руст=112.5 кВт

Коефіцієнт використання Кв=0,12

Середньо-максимальна активна потужність:

Рсм=Кв*Руст

Рсм=0,12*112.5=13.5 кВт

Середньо-максимальна реактивна потужність:

Qcм=tg*Рсм

Qcм=1,73*13,5=23.3 кВар

Ефективне число струмоприймачів:

пЕ=п=20,5

Коефіцієнт максимуму Кмах=1,70

Розрахункова активна потужність

Р розр =Кв*Кмах *Руст

Р розр = 0,12*1,70*112,5=22.95 кВт

Q розр = Qсм=23.35 кВар

Повна потужність: розрахункова

Sрозр=Р2+Q2,кВА

Sрозр=22.952+23,352=32,74 кВА

Розрахунковий струм

І розр= Sрозр/1,73*

І розр=5.3/1,73*0,38=49,8 А

По розрахунковому струму підійшов би провід перерізом 25мм2. Але спочатку розрахуємо струм плавкої вставки, яка повинна захищати:двигуни верстату і сам кабель. Пусковий струм верстату:

Іп=22·7/2,5+22+1=89 А

Вибирається запобіжник типу ПН2-150 з плавкою вставкою на 150А. відповідно вибирається 2 кабелі АА Шв прокладені в кабельному каналі, кожний перерізом 35мм2 тривалодопустимий струм 2х кабелів АА Шв 2(4х35мм2)

Аналогічно вибираються проводи і кабелі до інших верстатів. До потужних верстатів прокладуються кабелі в кабельних каналах, до легких верстатів проводом АПВ в трубі. Дані розрахунків заносимо в таблиці.

Таблиця 2.5

Потужність цеху визначається теж методом упорядочених діаграм.

Загально установлена потужність цеху:

Загально установлена потужність цеху:

Руст=112,5+27,9+30,2+12+27,5+192+9+453+15+6+20,5+70,9+38,8+129,6

+15+50+52,5+16,5+8,25+40=1325,76 кВт

Середньо-максимальні активні потужності по групах

Рсм.гр=Кв·Руст,кВт

Рсм.гр1=0,12*182,6=21,91

Рсм.гр2=0,14·6=2,4

Рсм.гр3=0,16·154,9=24,7

Рсм.гр4=0,17·38,8=6,5

Рсм.гр5=0,2·129,6=25,9

Рсм.гр6=0,25·90,7=22,68

Рсм.гр7=0,35·242=84,7

Рсм.гр8=0,5·20,5=10,25

Рсм.гр9=0,65·462=300,3

Середньо-максимальні реактивні потужності по групах споживачів.

Qсм.гр= tgц·Pсм.гр, кВт

Qсм.гр1=1,73·21,91=37,9

Qсм.гр2=1,73·2,4=4,1

Qсм.гр3=1,73·24,7=42,73

Qсм.гр4=1,17·6,5=7,6

Qсм.гр5=1,73·25,9=44,8

Qсм.гр6=1,17·22,68=26,5

Qсм.гр7=1,32·84,7=111,8

Qсм.гр8=1,73·10,25=17,73

Qсм.гр9=0,75·300,3=225,2

Сумарні активні і реактивні потужності цеху, середньо-максимальні:

УРсм=21,91+2,4+24,7+6,5+25,9+22,68+84,7+10,25+300,3=499,6 кВт

УQсм=37,9+4,1+42,73+7,6+44,8+26,5+111,8+17,73+225,2=518 кВар

Середньозважений коефіцієнт використання в цеху:

Кср.в=УРсм/Руст

Кср.в=499,6/1326.75=0,37

при п>5, Кв>0,2,т>3 і Р≠const

Ефективне число струмоприймачів визначається по формулі

пеф=2Руст/Рмах,

пеф=2·1326,75/55=48,24

по пеф=68 і Кв=0,26 знаходимо по таблицях коефіцієнт максимуму:

Кмах=1,16

Розрахункова активна потужність цеху

Ррозр=Кмах·Кв·Руст

Ррозр=0,26·1,16·1326=495 кВт

Розрахункова реактивна потужність при пеф>10 дорівнює середньо максимальній сумарній:

Qрозр=УQсм

Qрозр=518кВар

Середньо зважувальний тангенс цеху:

tgцср.зв=Qроз/Pроз

tgц=518/495=1,04

Повна потужність цеху:

S= Ррозр2+Qрозр2

S==716 кВА

Тривалий робочий струм на шино проводі:

I=S/1,73U

Ірозр=1089 А

Приймається головний магістральний шино проводів на 1600А типу ШМА-1600, по 2шт резервуючи один одного.

2.4 Монтаж і експлуатація електроустаткування цеху

Для монтажу силової електромережі створили два ступені дії, першим являється заготовочний під час якого відбувається вимір і заготовка матеріалу потрібного для монтажу, це наприклад труби і кабелі спеціальної довжини.

Другою дією є монтаж вже заготовленого матеріалу. Силові кабелі і проводи від силових розподільчих пунктів до щитів управління двигунами прокладають по металічних трубах вмонтованих в підлогу. Труби заготовляють в монтажних майстернях, зборку труб проводять на місцях, запускаючи в труби стальну оцинковану проволоку ПСО-3 (вудочку), після закладки труб в колонах за допомогою цих проволок протягують проводи чи кабелі. Силові пункти кріпляться анкерами до колони чи до стіни на спеціальному фундаменті в якому знаходиться отвір через який до СП буде подаватися кабель, провід для підключення його.

Підготовка машин до монтажу:

— зовнішній огляд;

— очищення фундаментних плит і лап станин;

— промивку фундаментних болтів і перевірку якості різьблення (прогоном гайок);

— огляд стану підшипників, промивку підшипникових стояків і картерів;

— перевірку зазору між кришкою і вкладишем підшипника ковзання, валом і ущільненням підшипників, вимірювання зазору між вкладишем підшипника ковзання і валом;

— розкриття підшипників кочення і перевірку заповнення їх мастилом; перевірку повітряного зазору між активною сталлю ротора і статором;

— перевірку вільного обертання ротора і відсутність зачіпань вентиляторів за кришки щитів торців;

Перед монтажем світильників визначають і маркірують фазні і нульові дроти.

Операції по монтажу світильників ЛСП складаються з установки деталей кріплення і конструкцій, кріплення світильників, приєднання до електромережі і мережі заземлення. Корпуси світильників забезпечені блоком пристрою для введення дроту. Сучасні світильники мають штепсельні з’єднання або затиски для приєднання до стаціонарної електромережі.

З’єднання різномірних проводів, а також з проводами інших металів проводять пайкою, зваркою, за допомогою болтів. Пайку алюмінію проводять спеціальними припоями з чисткою місць з’єднання опресування спеціальними кліщами великий тиск приводить до того, що алюміній пливе, як рідина, створюючи монолітне з’єднання. Застосовують також метод контактного розігріву.

В останній час почали проводити спеціальну обробку контактних поверхонь проводів та шин, на поверхні алюмінію під великим тиском накатують тонкі листи міді (лакований алюміній).

При монтажі силових щитів, розподільчих чи управління, особливу увагу звертати на правильну і акуратну розводку проводів та жил кабелів, щоб їх було добре видно, були замаркіровані, і мали деякий запас (на випадок переносу на інші зажими).

При виборі трас для прокладки кабелів і шинопроводів виводять із слідуючого: мінімальна витрата провідникового матеріалу, забезпечення його збереження від механічних пошкоджень, корозій, вібрацій, перегріву, пошкодження сусідніх кабелів. При цьому потрібно щоб проводити в кабелі по можливості не перехрещувались між собою і з трубопроводами. Кабелі вкладаються із запасом.

2.5 Експлуатація електроустаткування цеху

Надійність роботи силової мережі цеху залежить від того чи повністю дотримуються правила експлуатації силової мережі ПУЕ. Перевірка кабелів, силових пунктів, здійснюється згідно планів ППР та поточних оглядів, які оформляються головним енергетиком підприємства, узгоджених з енергетиками цехів. Кожен кабель має своє допустиме навантаження, але по цеху ці кабелі прокладені в різних умовах і мають різний ступінь охолодження. Тому враховуючи це необхідно перевіряти кабель в місцях з гіршим охолодженням. Якщо кабелі прокладені так, що з часом можуть з’явитись провисання, то необхідно слідкувати за рівнем провисання і слідкувати за тим, щоб воно не збільшувалось. Також необхідно у визначені терміни перевіряти труби в яких прокладені кабелі на наявність механічних пошкоджень. Необхідно перевіряти надійність кріплень шинопроводів та кабелів прокладених на стінах. У визначені терміни перевіряється з’єднання та очищення контактних з’єднань кабелів, місця з’єднання в СП. Якщо є розрив кабелю (заробка, муфта ), то перевіряють наявність герметичності з’єднань. Випробування проводять 1 раз на рік або в терміни призначені головним енергетиком підприємства з урахуванням правил ПТЕ для основних кабелів. Під час випробувань вимірюють опір ізоляції, він повинен бути не менше 0,5 МОм. Якщо довгий час була відключена лінія живлення електрообладнання то її перед введенням в експлуатацію проводять огляд і перевірку. Якщо на тій чи іншій лінії були перевантаження необхідно провести перевірку лінії по опору ізоляції та надійність з’єднань. Повне переобладнання мережі включаючи відновлення зношених елементів лінії живлення проводиться при капітальному ремонті.

Перевіряють наявність хорошого контакту заземлюючих провідників з корпусами верстатів. Вимірюють мегаметром на 1000В опір ізоляції, якщо ділянка має опір менший, то проводку замінюють на нову. Відкривають кришки коробок відгалуження і перевіряють відсутність вологи і пилу. Оглядають клеми і приєднані до них проводи, з’єднання, що мають сліди описання або оплавлення зачищають.

Оглядають також анкерні, крюкові та інші кріплення проводів, сам трос. Якщо є ржав чина, зачищають до блиску і покривають емаллю.

В цеху повинна бути складена місцева інструкція по експлуатації електричних машин, в якій вказується: технічна характеристика установлених двигунів, порядок підготовки їх до пуску, послідовність операцій при пуску, зупинці і технічного обслуговування під час нормальної експлуатації і в аварійних режимах, порядок допуску до огляду, ремонту і випробуванню двигунів, вимоги по техніці безпеки, вибухо- і пожежонебезпеці.

При технічному обслуговуванні апаратури управління і захисту апарат відключають від мережі і приймають міри, що виключають можливість помилкової подачі напруги, проводять його огляд; очищають від пилу і бруду; перевіряють надійність його кріплення до панелі; наявність заземлення; правильність взаємного положення деталей і їх взаємодію: спрацювання осей, кулачків та інших рухомих і нерухомих деталей; проводять необхідну регулювання. При потужному ремонті замінюють зношені деталі, звертаючи увагу що калібровані деталі (пружини, контакти, дугогасильні камери) замінюють на нові тільки заводського виконання, а конструкційні – можуть виготовлятись на своєму підприємстві. На підприємстві також перемотуються котушки, реле і т.д.

Особливу увагу звертають на щільність прилягання контактів і достатність сили їх стискання, а також їх чистота. Нещільне їх прилягання приводить до

перегріву контактів, може викликати навіть приварювання один до одного. Нагар з контактів видаляють салфеткою, змоченою в бензині, а при обгоранні їх зачищають надфілем, при товщині контактів менше 0,5мм їх замінюють. Силу натиску контактів перевіряють за допомогою стрічки паперу, яку закладають між рухомим і нерухомим контактом, при замкнутому положенні контактів. Стрічка паперу в цьому випадку повинна витягуватись з деяким зусиллям.

2.6 Заходи з енергозбереження

Кожне підприємство використовує електроенергію і чим більше воно його використовує, тим більші втрати даної енергії. До цих витрат входять не тільки втрати на транспортування та перетворення електроенергії в силових мережах, але й втрати в технологічному обладнанні. Тому кожне підприємство здійснює ряди заходів щодо економії електричної енергії, так як вартість її дуже суттєво впливає на ціну виготовленої продукції. На підприємстві ВАТ «Чернігівавтодеталь» в інструментальному цеху та в інших цехах використовується виробниче обладнання яке застаріле (40-х та 50-х років, а також 70-90-х років випуску). Це обладнання є дуже енергомістким і несе великі втрати, а продуктивність низька. Необхідно було б замінити дане обладнання на більш нове і ефективне з вищим ккд та коефіцієнтом використання. Необхідно здійснити заміну громіздких пристроїв частотного управління для регулювання обертів електродвигунів, більш сучасними і економічними. В цеху є печі які працюють від електроенергії, тому необхідно слідкувати і зменшувати віддачу тепла навколишньому середовищу за рахунок теплоізоляції. Здійснювати контроль за надійністю контактних з’єднань.

До резервів економії також належать і економія за рахунок удосконалення і модернізації електроустаткування, реконструкції і автоматизації освітлювальних мереж, зниження витрат активної потужності в електромережах.

До таких заходів належать: обмеження холостих режимів роботи електроустаткування, заміна системи Г-Д найбільш економічні та ефективні тиристорні перетворювачі, підбір ламп в освітлювальних мережах, компенсація реактивної потужності, впорядкування режимів роботи силових трансформаторів.

Існують резерви економії електроенергії й за рахунок раціонального використання вентиляційних установок.

2.7 Заходи з охорони праці, техніки безпеки та екології

В Україні основним нормативним документом, що регламентує питання охорони праці на виробництві є Закон України „Про охорону праці”. Цей Закон визначає основні положення щодо реалізації конституційного права громадян на охорону їх життя і здоров’я в процесі трудової діяльності, регулює за участю відповідних державних органів відносини між власником підприємства, установи і організації або уповноваженим ним органом і працівником з питань безпеки, гігієни праці та виробничого середовища і встановлює єдиний порядок організації охорони праці в Україні.

До основних заходів з охорони праці відноситься дотримання вимог техніки безпеки.

Робочий персонал повинен дотримуватися ПТБ (правила техніки безпеки), так як порушення правил експлуатації та ремонту може призвести не тільки до поломки технологічного обладнання, але й до нещасних випадків.

Працівник має право відмовитися від дорученої роботи, якщо створилася виробнича ситуація, небезпечна для його життя чи здоров’я або для людей, які його оточують, і навколишнього природного середовища. Факт наявності такої ситуації підтверджується спеціалістами з охорони праці підприємства з участю представника профспілки і уповноваженого трудового колективу, а в разі виникнення конфлікту — відповідним органом державного нагляду за охороною праці з участю представника профспілки.

При обслуговуванні та ремонті електротехнічним персоналом електроустановок споживачів головну небезпеку становлять:

а) ураження електричним струмом при несправній електроапаратурі, електромережі, або при пошкодженні заземлень корпусів апаратури, панелей та каркасів;

б) відсутність захисних пристроїв на частинах електроустановок, які знаходяться під напругою, та попереджувальних плакатів;

в) використання захисних засобів та пристосувань не за призначенням;

При ремонті електрообладнання необхідно переконатися в надійному відключенні установки від мережі. Для цього необхідно вимкнути автоматичний вимикач і відключити установку від мережі через рубильник.

Якщо роботи проводяться на висоті необхідно всі допоміжні інструменти закріплювати або складувати в спеціальний рюкзак, або невелику поясну сумку для уникнення падіння електроінструмента на людину,що знаходиться в низу. Якщо висота на якій проводиться ремонт електрообладнання перевищує 3м необхідно використовувати паси безпеки(наприклад при заміні світильників РСП16 або ремонт вузлів електромережі, що прокладені по стінках.

Проведення роботи по ремонту електрообладнання необхідно проводити за допомогою непошкодженого інструменту, що перевірений на робочому місці перед тим як його використовувати, а також строки перевірки інструменту в лабораторії нормо контролю не прострочені.

Електротехнічний персонал на робочому місці повинен виконувати тільки ту роботу, яка йому доручена (по наряду, розпорядженню, в порядку поточної експлуатації) та входить в коло його обов’язків з виконанням вимог ПТЕ, ПБЕЕС та інструкцій з охорони праці. В разі доручення роботи, яка не входить в коло його професійних обов’язків, працівник повинен одержати по цій роботі відповідний інструктаж з записом в журналі цільового інструктажу

Персонал, що обслуговує електроустановки, зобов’язаний добре знати правила протипожежної безпеки і пожежогасіння електрообладнання цеха або інших підрозділів заводу.

У разі виникнення на підприємстві надзвичайних ситуацій і нещасних випадків власник зобов’язаний вжити термінових заходів для допомоги потерпілим, залучити при необхідності професійні аварійно-рятувальні формування.

Працівник зобов’язаний:

знати і виконувати вимоги нормативних актів про охорону праці, правила поводження з машинами, механізмами, устаткуванням та іншими засобами виробництва, користуватися засобами колективного та індивідуального захисту;

додержувати зобов’язань щодо охорони праці, передбачених колективним договором (угодою, трудовим договором) та правилами внутрішнього трудового розпорядку підприємства;

співробітничати з власником у справі організації безпечних і нешкідливих умов праці, особисто вживати посильних заходів щодо усунення будь-якої виробничої ситуації, яка створює загрозу його життю чи здоров’ю або людей, які його оточують, і навколишньому природному середовищу, повідомляти про небезпеку свого безпосереднього керівника або іншу посадову особу.

Кожний працівник особисто відповідає за свої дії в частині дотримання вимог нормативних документів з охорони праці. У випадку, якщо працівник самостійно не спроможний вжити дійових заходів з усунення виявлених ним порушень, він зобов’язаний негайно повідомити про це безпосереднього керівника, а у випадку його відсутності – керівника вищого рівня.

На території підприємства в тому числі і інструментальному цеху встановлені ящики для викидання технологічного сміття (металева стружка), яке вивозиться з підприємства і транспортується залізничним транспортом (потягом).

Висновки

В даному курсовому проекті описується характеристика підприємства, технічна характеристика обладнання, наводиться відомість споживачів електричної енергії.

Проводиться розрахунок освітлення, що включає в себе: вибір системи освітлення, типу і кількості світильників; перевірка освітленості цеху точковим методом; розрахунок мережі освітлення. Проводиться розрахунок вибору електроприводу для верстата, що включає в себе розрахунок потужності електродвигуна, перевірка вибраного двигуна за пусковим моментом, побудова механічної характеристики з метою переконатися у правильності розрахунків.

Курсовий проект включає в себе також вибір захисної та пускової апаратури для даного устаткування та інших споживачів електричної енергії з метою їх захисту та нормальної роботи. Проводиться розрахунок струмопроводів від яких заживлюється технологічне обладнання та силові пункти, сюди входить вибір: шино проводу , кабелю до силового пункту, проводу до якого підключається технологічне обладнання. Також здійснюється вибір силових пунктів від яких заживлюється технологічне обладнання. Висвітлені питання пов’язані з монтажем силової мережі цеху, заходи з економі електричної енергії та правила техніки безпеки, а також розробка принципіальної електричної схеми мостового крана.

Література

1. Закон України «Про охорону праці»

2. Закон України «Про пожежну безпеку»

3. Закон України «Про підприємництва в Україні»

4. ГОСТ 2.105-95 ЕСКД. Общие требования к текстовым документам

5. ГОСТ 2-109-68. Основные требования к чертежам

6. Правила технической эксплуатации электрических станций и сетей. М.: Энергоатомиздат 1989.

7. Справочник по охране труда нормы, правила, инструкции.- Ленинград: «Судостроение» 1973.

8. Основи охорони праці М.П. Готдзюк, Є.П. Жабо, М.О. Халімовський. – К.: Каравела 2003.

9. Справочник по электроснабжению промышленных предприятиях том 2 – М.: «Энергия» 1973.

10. Справочник по наладке электрооборудования В.К. Вырвашин, В.Я. Койлер, П.А. Планов. – М.: Россельхозиздат 1979.

11. Электротехнический справочник том 2 М.: — Энэргоатомиздат 1986.

12. Довідник сільського електрика за редакцією В.С. Олійник, К.: Урожай 1985.

13. В.С. Мазепа, Я.Ю. Марущак, А.С. Куцик «Електрообладнання промислових підприємств» Л.: Магнолія Плюс 2004.

14. А.А. Федоров, Л.Е. Старкова, М.: «Учебное пособие для курсового и дипломного проэктирования» М.: Энергоатомиздат 1987.

15. Б.Ю. Липкин «Электроснабжение промышленных предприятий и установок» М.: Высшая школа 1990.

16. А.М. Кучер, М.М. Кавашицкий, А.А. Покровский «Металлорежущие станки» М.: Машиностроение 1965.

17. Ю.Д. Сибиков «Монтаж, эксплуатация и ремонт электрооборудования промышленных М.: Высшая школа» 2003.

18. А.Ф. Зюзин «Монтаж эксплуатация и ремонт электрооборудования промышленных предприятиях и установок»

19. В.И. Дьяков «Типовые расчеты по электрооборудованию» М.: Высшая школа 1991.

20. Н.П. Посников, Г.М. Рубашов «Электроснабжение промышленных предприятий» Ленинград: Стройиздат 1989.